판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596435

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride는 고급 확산 로와 관련 액세서리입니다. 3 차원 화학 증기 증착 (CVD) 및 다양한 재료의 확산이 가능한 다중 구역, 단일 웨이퍼 열 처리 장비입니다. TEL Alpha 303i Nitride 라인업에는 고 동력 질소 결정 성장 모듈과 질화물, 내화 금속 및 전이 금속 CVD 모듈이 포함됩니다. TEL 독점 IFEC (Integrated Furnace Electronic Controller) 는 열 프로세스의 제어 및 관리를 위한 포괄적인 옵션을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride는 최대 웨이퍼 크기가 300mm 인 더 큰 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 프로세스당 최대 16 개의 웨이퍼를 수용할 수 있으며, 처리량이 높아 대규모 생산에 적합합니다. 이 기계는 또한 실온에서 최대 1100 ° C까지 다양한 고온 기능을 제공합니다. 알파 303i 니트 라이드 (Alpha 303i Nitride) 의 "냉각 롤 (cooling roll)" 은 빠른 냉각을 가능하게하며 열 처리 중 웨이퍼를 보호하는 데 도움이됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride는 최고의 순도 질소, 아르곤 및 기타 가스를 통해 우수한 품질의 열 처리를 달성합니다. 온보드 자동화 (On-Board Automation) 소프트웨어는 작동이 쉽고 높은 정밀도로 생산 수율을 유지하는 데 도움이됩니다. 옵션 DIPS (Digital Image-Processing System) 는 질화물 및 내화 재료의 두께 분포를 적응적으로 제어합니다. 텔 알파 303i 니트 라이드 (TEL Alpha 303i Nitride) 는 인명 손상을 방지하기위한 적외선 안전 창과 가스 누출을 감지하고 예방하기위한 벽면 장착 안전 장치 (wall-mounted safety unit) 를 포함한 고급 안전 기능을 통합합니다. 용광로에는 발사 온도, 압력, 가스 흐름 상태를 모니터링하기 위해 실시간 모니터링 기계 (real-time monitoring machine) 가 장착되어 있습니다. 또한, 도구 내에서 웨이퍼 및 쿼츠 튜브를 추적하는 특수 도구를 사용할 수 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride는 효율적이고 신뢰할 수있는 확산 로와 CVD 자산으로, 대규모 생산에 적합합니다. 강력한 질소 결정 성장 모듈 (Nitrogen Crystal Growth Module), 넓은 온도 범위 (Wide Temperated Range) 및 자동 시스템 (Automated System) 은 열 공정의 정확한 제어를 보장하며 생산 수율을 극대화하는 데 도움이됩니다. 이 기계에는 인원과 장비를 보호하는 많은 안전 기능이 포함되어 있으며, 질화물 (Nitride) 및 내화 금속 열 처리 (refractory metal thermal processing) 에 이상적인 선택입니다.