판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596434

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride는 반도체 산업을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 가장 까다로운 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 고안되었으며, 얇은 필름 (thin film), 표면 처리 (surface treatment), 산화 (oxidation), 질화물 처리 (nitride treatment) 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. TEL Alpha 303i Nitride는 수직 직접 가열 핫존 장비와 수직 액세스 볼륨을 사용하는 고성능 확산 로입니다. 이 구성은 정확한 열 균일성, 우수한 온도 안정성, 웨이퍼 수준에서 온도 분포의 정확한 균일성을 제공합니다. 수직 핫존 가열 시스템 (Vertical Hotzone Heating System) 과 확장 된 액세스 볼륨 (Expanded Access Volume) 을 사용하면 웨이퍼 수준에서 균일 한 온도 분포의 균일성을 극대화하고 프로세스 및 제품 수율을 향상시킬 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride에는 최신 온도 조절 기술이 적용되어 정확한 온도 설정, 램프 속도 제어 및 퍼니스 사이클 제어가 가능합니다. 터치 스크린 컨트롤러 (Touch Screen Controller) 를 통해 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링하고 설정할 수 있습니다. 또한 프로세스 매개 변수의 자동 설정 및 제어를 위해 PLC (programmable logic controller) 가 장착되어 있습니다. "핫존 '은 전기적 으로 전도성 물질 로 만들어져 있는데, 이 물질 은 열원 역할 을 하며, 열전달 을 극대화 시키며, 따라서 열 균일성 과 온도 안정성 을 향상 시킨다. "핫존 '에는 또한 온도 조절 에 사용 되는 전기 전류 를 조절 하고 조절 하는 데 도움 이 되는" 양극' 조립 장치 가 갖추어져 있다. Alpha 303i Nitride에는 프로세스 운영자의 안전을 보장하기 위해 안전 기능도 제공됩니다. 로가 작동하는 동안 핫존 (hotzone) 의 개방을 방지하는 자동 연동 장치 (automated interlock unit) 외에 과열 경보, 폭발 및 화재 경보, 비상 전원 차단 등 주변 보호 기능이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride 기계는 최대의 프로세스 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 그것 은 다양한 "웨이퍼 '종류 와 크기 를 처리 할 수 있으며, 질화물 처리 를 위한 여러 가지 공정" 레시피' 를 처리 할 수 있다. 또한 간편한 원터치 (One-touch) 보정과 다양한 진단 도구를 통해 빠르고 손쉽게 유지 보수할 수 있도록 설계되었습니다. 프로세스 안정성과 탁월한 제품 생산성을 보장합니다. 양면 질화물 코팅에도 동시 이중 웨이퍼 정렬을 사용할 수 있습니다. 결론적으로 TEL Alpha 303i Nitride는 반도체 산업을 위해 설계된 고성능 확산 로이자 액세서리입니다. 최신의 온도 조절 기술 (Temperature Control Technology) 과 안전 (Safety) 기능을 탑재하여 최대한의 안전성과 프로세스 안정성을 보장합니다. 질화물 치료를위한 다양한 웨이퍼 유형, 크기, 프로세스 레시피 (레시피) 를 처리 할 수 있으며, 최대의 프로세스 유연성과 우수한 제품 수율을 제공합니다.