판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN #9381859

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN 확산 로와 액세서리 장비는 실리콘 웨이퍼 및 복합 반도체 재료를 포함하는 고급 열 공정에 대한 다양한 옵션을 제공합니다. 이 시스템은 안정적이고 견고한 시스템으로, 열 프로세스의 안정성과 반복성을 위해 설계되었습니다. TEL Alpha 303i-KVCN (TEL Alpha 303i-KVCN) 은 정확한 온도 조절을 가능하게하며, 고급 시스템 중 하나로 사용할 수있는 수많은 다른 기능도 제공합니다. 이 장치는 이동식 액세스 패널, 중앙 케이스/버퍼 챔버 (center-case/buffer chamber) 및 엔케이스 클리 스트론 (klystron) 이 장착 된 프런트 엔드 멀티 포트 진공 게이트 밸브를 통해 서비스 직원이 쉽게 액세스 할 수있는 메인 챔버로 구성됩니다. 주 챔버 (main chamber) 는 효과적인 온도 조절을 위해 우수한 단열과 온도 균일성으로 설계되었습니다. 이 기계는 최대 9 개의 2 인치 웨이퍼를 동시에 수용 할 수 있으며 epitaxy, CVD, oxide 및 nitride와 같은 프로세스에 적합합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN은 고급 온도 컨트롤러 및 압력 컨트롤러로 온도 및 압력 프로파일을 매우 잘 제어합니다. 온도 컨트롤러 (Temperature controller) 는 주 챔버의 온도를 정확하게 제어하고 정확한 결과를 얻기 위해 정확한 온도를 보장합니다. 온도 조절 (temperate control) 은 기판 재료 및 매개변수에 맞게 사용자 정의할 수 있으며, 이는 효율성을 높이고 수동 개입의 필요성을 줄입니다. 압력 제어기 (pressure controller) 는 프로세스의 특성에 따라 압력 프로파일을 자동으로 조정하여 온도 프로파일을 최적화하고 보다 정밀한 처리를 활성화합니다. 알파 303i-KVCN (Alpha 303i-KVCN) 에는 다양한 고급 안전 기능이 포함되어 있어 가장 안전한 시스템 중 하나입니다. 여기에는 긴급 상황의 경우 열원을 차단하는 자동 온도 조절 도구 (Automatic Temperature Control Tool), 수동으로 재설정 가능한 안전 퓨즈 (Manually Resetable Safety Fuse) 및 긴급 차단 (Emergency Shoff) 스위치가 포함됩니다. 이 기능은 인력과 장비를 모두 보호하고, 자산의 안전한 운영을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN은 또한 다양한 액세서리를 제공하여 프로세스 제어를 향상시키고 유연성을 높입니다. 이러한 액세서리에는 로드 잠금 모델, 필름 등급 샘플 체인저, 자동화 된 프로세스 모니터링 장비 및 프로그래밍 가능한 웨이퍼 홀더가 포함됩니다. 다른 선택적 구성 요소로는 포토 esist 시스템 및 웨이퍼 조작 장치가 있습니다. TEL Alpha 303i-KVCN 확산 용광로 액세서리 머신은 신뢰할 수 있고 견고한 도구로서, 다양한 열 처리 어플리케이션에 엄청난 잠재력을 제공합니다. 이 자산은 고급 온도 컨트롤러 (temperature controller) 와 압력 컨트롤러 (pressure controller) 를 사용하여 온도 및 압력 프로파일에 대한 뛰어난 제어를 제공합니다. 이 모델에는 다양한 안전 기능, 추가 액세서리, 유연한 프로그래밍 기능도 포함되어 있습니다. 고품질 구성, 안정성 및 유연성을 갖춘 TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN은 고급 열 처리 장비를 찾는 기업에게 적합한 선택입니다.