판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9411634

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 반도체 소자 가공, 산업 난방, 연구 개발 등 다양한 산업 응용을 위해 설계된 확산 로입니다. TEL ALPHA 303IK는 고성능 난방 및 냉각 시스템을 갖춘 견고하고, 내구성이 뛰어나고, 신뢰할 수 있는 확산 로입니다. 여기에는 균일 한 열 프로파일 및 균일 한 유지 시간에 대한 혁신적인 벨 (bell) 형 외부 구조와 정확한 온도 제어를 위해 프로그래밍 가능한 자동 리프트 메커니즘 (옵션) 이 포함됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 모든 크기의 웨이퍼에서 정확한 온도 조절, 최대 1100 ° C, 매우 정확한 온도 균일성을 특징으로합니다. 또한 고속 냉각, 자동 덮개 위치 메모리, 고급 안전 (safety) 기능을 제공하여 높은 온도에서 의도하지 않은 장기 작동을 방지합니다. 옵션 "스택 웨이퍼 키트 (stacked-wafer kit)" 는 단일 퍼니스 사이클에서 1 개 또는 2 개의 레이어에서 여러 웨이퍼의 균일 한 열 처리를 가능하게 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK의 고급 난방 및 냉각 시스템은 다양한 산업 요구를 위해 정확하고 반복 가능한 온도 프로파일을 허용합니다. 전원 입력은 최대 10 kW 까지 조정이 가능하며, 웨이퍼로의 전원 출력은 최대 2 kW 까지 조정할 수 있습니다. 또한 ALPHA 303 I K에는 매우 정확한 드라이 에칭 및/또는 이온 이온 이식 공정을위한 내장 가스 확산 시스템이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K 의 사용자 친화적 인터페이스와 강력한 데이터 분석 소프트웨어는 강력한 기능을 제공하면서 설치와 작동을 단순화합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 작업을 신속하게 설정하고, 자주 사용하는 설정 조합을 저장하고, 표준 레시피를 사용하여 작동하며, 여러 개의 퍼니스를 동시에 실행할 수 있습니다. TEL 알파 303i-K (Alpha 303i-K) 의 견고한 구조는 산업 환경에서 안정적으로 수행 할 수있는 반면, 히스테리시스 작동 가스 차단, 조절 가능한 고온 보호기, 비상 정지 단추 등 광범위한 안전 기능은 제어되지 않은 과열 또는 과열 사건에 대한 신뢰할 수있는 보호 기능을 제공합니다. 전반적으로, ALPHA 303IK 확산 로는 다양한 산업 응용 분야에 대해 안정적이고 정확한 열 처리를 제공합니다. 혁신적인 벨 유형 외부 구조, 우수한 온도 제어, 빠른 냉각, 광범위한 안전 기능, 고급 가스 확산 시스템, 통합 사용자 친화적 인터페이스, 강력한 데이터 분석 소프트웨어를 통해 온도 크리티컬 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다.