판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394529

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9394529
웨이퍼 크기: 12"
Furnace, 12" TEOS.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K는 산업 확산 용광로 및 관련 구성 요소입니다. 대규모 생산 및 연구 개발을 위해 설계된 고급 장비입니다. 탁월한 성능과 안정성을 제공하므로, 사용자가 주기를 크게 줄이고 효율성을 향상시킬 수 있습니다. TEL ALPHA 303IK 은 강력하고 고급 (advanced) 제어 시스템을 장착하여 각 프로세스 단계를 정확하고 정확하게 수행합니다. 시스템은 직경 200mm까지 다양한 웨이퍼 크기를 지원합니다. 다양한 온도 설정이 특징이므로 어닐링, 확산, 결정화, 에피 택시 성장, 유약, 치료 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 온도 범위는 50 ° C ~ 1250 ° C입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 또한 2 챔버 구성을 제공하여 여러 프로세스가 동시에 수행 될 수 있습니다. 이 조건은 장치의 활용도를 향상시킵니다. 또한 운영자를 보호하고 환경 영향을 최소화하는 다양한 안전 기능 (예: 질소 비활성 대기, 고온 모니터링 기계) 을 제공합니다. 현재 시장에서 가장 강력하고 신뢰할 수있는 모델 중 하나입니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK는 다양한 옵션을 사용하여 수동 및 자동 작동을 위해 설계되었습니다. 공구 설정 및 작동을 위한 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface for Tool Setup and Operation) 와 수동 및 완전 자동화 레시피 제어를 위한 다양한 소프트웨어 패키지 (Software Package) 를 갖추고 있습니다. TEL Alpha 303i-K에는 깨끗하고 결함이 없는 표면 및 장치를 생산하는 데 필수적인 인사이트 (in-situ) 클리닝 스테이션도 포함되어 있습니다. 더욱이, 이 자산은 진동이 불가능한 설계를 갖추고 있어 수익률 감소와 마이크로 제작 (micro-fabrication) 을 통해 프로세스 성능을 향상시킬 수 있습니다. 알파 303i-K 모델은 전체 예비 부품 및 도구 세트와 다양한 액세서리 (예: 배기 장비, IR 냉각 및 여분의 퍼니스 컨트롤러) 와 함께 제공됩니다. 경제적이고, 내구성이 뛰어나며, 구체적이고 안정적인 결과를 필요로 하는 애플리케이션에 다양한 설정과 기능을 제공합니다. 이로 인해 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K가 가장 많이 찾는 확산 로 중 하나입니다.
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