판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394526

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 확산 로와 액세서리 패키지 장비로, 웨이퍼 및 기타 기판에 다양한 반도체 재료를 배치하는 데 사용됩니다. 멀티 사이클 프로세스 레시피 프로그래밍을 지원하는 고급 디지털 제어 수직 용광로 시스템입니다. 이 장치는 고정밀 확산 및/또는 도펀트 응용 프로그램 작업에 이상적입니다. 텔 알파 303IK (TEL ALPHA 303IK) 은 최대 1100 ° C의 최대 온도에 도달 할 수있는 수직 프로파일로 설계되었으며, 온도 안정성과 작업 영역 전체에서 ± 1 ° C의 균일성을 갖습니다. 이것은 내부 용광로 대기 분포의 정확한 전기 제어를 통해 보장됩니다. 안전 측면에서, TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K에는 잠재적 인 산화 또는 오염을 방지하기 위해 트리플 머플 챔버가 장착되어 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK는 높은 처리량으로 작동하며 멀티 사이클 레시피 당 최대 32 개의 웨이퍼로 최대 15 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 선택 가스로 작동 할 수 있으며 필요에 따라 N2, Ar, H2, O2 및 기타로 도핑할 수 있습니다. 기계의 누수 속성이 1 x 10 ^ -7 pa보다 작은 진공 주기는 -7 torr입니다. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K에는 확산 과정을 돕는 여러 액세서리도 포함되어 있습니다. 여기에는 플라즈마 생성기, 쿼츠 오븐, 입자 필터 및 안전 필터가 포함됩니다. 이 도구는 SEMI 3, S2 및 ESD 안전 표준을 충족하도록 인증되었습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K의 전력 소비량은 약 13kW, 발자국은 78.7 x 80.3 인치 (2 x 2.04m) 입니다. 전반적으로, TEL Alpha 303i-K는 확산 및/또는 도펀트 응용 프로그램 작업에 탁월한 성능을 제공하는 고급 디지털 제어 수직 용광로 자산입니다. 다양한 액세서리를 갖추고 있으며, 엄격한 안전 기준을 충족할 수 있도록 인증되었습니다. 이 모델은 확산 요구에 대한 신뢰할 수 있는 고성능 (HPS) 솔루션을 찾는 고객에게 이상적입니다.