판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381863

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9381863
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Furnace, 12" Process: DCS-HTO Heater type: VOS-56-003 Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4 2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K는 확산 로와 액세서리로, 온도 정확도와 균일성에 대한 최대 성능을 제공합니다. 이 고유 한 장비는 열 플럭스, 대류, 온도 프로파일 등을 제어하기위한 AEC (Advanced Embedded Control Technology) 를 갖춘 업계 최고의 확산 광로 솔루션입니다. TEL ALPHA 303IK는 뛰어난 온도 균일성과 생산 및 연구 응용을위한 매우 정확한 온도 제어를 제공하는 3 구역 이중 고압 강제 대류 핫 플레이트 설계를 갖추고 있습니다. 강제 대류 구성은 실온에서 최대 1050 ° C까지 광범위한 온도 범위에서 제어, 균일 한 열 처리를 보장합니다. 용광로에는 전력 중단 방지, 단계 범위가 ± 1 ° C 인 높은 온도 조정, 조절 가능한 온도 범위가 최대 1400 ° C 인 내장 피로미터, 고급 AEC 시스템 등 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 뛰어난 프로세스 안정성 및 제품 균질성. AEC 단위는 단일 영역 환경에서 우수한 온도 균일성 (excellent temperity) 과 열 플럭스 (heat flux) 를 통해 정해진 온도 온도에서 정확한 온도 제어를 허용합니다. 이 기계는 직관적인 제어판 (control panel) 을 사용하여 여러 사용자 응용 프로그램의 프로세스 매개변수를 빠르게 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 또한 질소 및 혼합 가스 공정에 대한 가까운 내성을 보장하기 위해 매우 정확한 가스 전달 도구를 제공합니다. 이는 강력한 안전 (Safety) 및 알람 (Alarm) 기능과 연계되어 광범위한 확산 프로세스를 통해 높은 수준의 프로세스 제어 및 운영자 안전성을 제공합니다. 이 장치는 개별 구매 또는 통합 확산 자산으로 제공됩니다. 통합 패키지에는 TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K, 단일 또는 다중 구역 컨트롤러, 열 절연 챔버, 비활성 가스, 반응물 및 보호 가스를위한 공급 라인, 효율적인 열 처리를 위한 쿼츠 구성 요소 및 실시간 운영자 감독을위한 모니터링 및 분석이 포함됩니다. 결론적으로, 알파 303i-K (Alpha 303i-K) 는 다양한 온도 민감 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 광범위한 기능을 갖춘 고급 확산 로이자 액세서리입니다. 고급 AEC 모델 (AEC Model), 온도 균일성 (Temperature Unifority) 및 정확한 프로세스 제어 (Process Control) 를 통해 안정적이고 효율적인 온도 처리가 필요한 모든 실험실에는 이상적인 선택이 가능합니다.
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