판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381861
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ID: 9381861
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VOS-56-003
Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 반도체 및 전자 기기 연구 및 생산에 탁월한 성능을 제공하기 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 이 장비는 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide), 게르마늄 (germanium) 과 같은 다양한 재료 처리를 포함하여 다양한 요구를 위해 설계되었습니다. TEL ALPHA 303IK에는 균일 한 난방과 정확한 핫 존을 제공하는 큰 확산 챔버가 포함됩니다. 온도 변화 및 빠른 응답 시간을 제공하는 온도 구배 제어 시스템 (temperent gradient control system) 이 있습니다. 확산 챔버 (diffusion chamber) 는 또한 웨이퍼의 균일 한 도핑을 보장하기 위해 매우 균일 한 가스 흐름을 갖는다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K에는 사용자가 프로세스 매개 변수를 사용자 정의할 수있는 고급 제어 및 소프트웨어가 있습니다. 또한 장비 온도, 압력 및 가스 흐름을 모니터링하는 진단 기능도 제공합니다. 또한 최대 4 개의 가스 소스에서 가스를 정확하게 혼합하고 조절하는 전자 컨트롤러 (Electronic Controller) 가 포함되어 있습니다. ALPHA 303 I K에는 챔버의 빠른 가열 및 냉각을위한 빠른 진공 가열 시스템이 있습니다. 사용이 간편한 소프트웨어를 통해 사용자는 최소한의 노력으로 매개변수를 조정할 수 있습니다. 챔버는 또한 높은 진공을 유지하기 위해 잘 봉인되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K에는 와퍼를 빠르고 효율적으로 처리 할 수있는 다양한 액세서리가 있습니다. 여기에는 보트 리프트 키트, 운반 핸들, 적재 랙, 샘플 홀더, 자동 고무 봉인 키트, 가스 분배 세트, 진공 장비 인터페이스 및 질소 제거 시스템이 포함됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 반도체 장치 제작, 코팅, 증착 및 레이싱을 포함한 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 용광로 는, 매달 1 시간 미만 의 가동 중지 시간 기록 을 가지고 있기 때문 에, 매우 신뢰 할 만하다. 뿐 만 아니라, 그것 은 생산 효율성 이 매우 높아서, 오늘날 의 현대 제조 공장 에 이상적 이다. 전반적으로, TEL ALPHA 303 I K는 안정적이고 고도의 확산 로와 액세서리 패키지로, 반도체 및 전자 기기 연구 및 생산에 탁월한 성능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK (TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK) 은 고급 기능으로, 높은 품질의 생산을 요구하는 사람들과 엄격한 마감 시한을 충족해야 하는 사람들에게 적합합니다.
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