판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381826

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K 확산 로는 고품질의 정확한 웨이퍼 제작에 사용되는 도구입니다. 고급 웨이퍼 전송 및 코팅 장비를 갖춘 멀티 존 퍼니스입니다. 열 구역과 냉각 구역의 두 개의 챔버로 구성됩니다. 가열 구역은 승화 및 에칭 프로세스가 수행되는 곳입니다. 냉각대는 웨이퍼가 냉각되고 산화물 층이 형성되는 곳입니다. 고급 웨이퍼 전송 시스템 (Advanced Wafer Transfer System) 을 사용하면 각 프로세스에 대한 확산 매개변수를 정확하고 반복적으로 제어할 수 있습니다. TEL ALPHA 303IK는 고효율 가열 장치를 가지고 있으며, 열 영역은 IR 램프에 의해 달성됩니다. 이 램프는 쿼츠 튜브 (quartz tube) 안에 위치하여 사용자가 설정한 온도 범위를 제어할 수 있습니다. "램프 '는 가시 광선 과 IR 방사선 을 방출 하는데, 이 방사선 은 공정 실 의" 실리콘 웨이퍼' 에 의해 효율적 으로 흡수 된다. 이 기계는 또한 각 존 (zone) 별로 가열률 (heating rate) 과 냉각 속도 (cooling rate) 를 제어하여 열 프로파일을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 고급 TZTC (Two-Zone Temperature Control) 기능을 통해 열 구역 및 냉각 구역의 온도를 정확하게 제어 할 수 있으며, 챔버 내에서 균일하고 정확한 확산 속도를 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 또한 매우 정확한 에칭 및 승화 프로세스를 할 수 있습니다. 고급 코팅 도구 (advanced coating tool) 는 박막 및 층의 정확한 증착, 질화 및 에칭 프로세스를 가능하게합니다. 통합 증착 헤드는 200mm ~ 300mm, 다양한 두께, 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 통합 쿼츠 챔버는 처리 중에 깨끗한 환경을 가능하게합니다. 자산에는 사용자 (User) 와 모델 (Model) 을 모두 보호하기 위해 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. LCD 디스플레이 (LCD Display) 에는 사용자가 외부에서 모든 확산 매개변수를 모니터링할 수 있도록 하는 LCD 디스플레이 (Emergency Stop Button) 와 긴급한 경우 장비를 빠르게 차단할 수 있는 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함됩니다. TEL Alpha 303i-K 확산 로는 웨이퍼 처리를위한 고급적이고 정확한 도구입니다. 효율적인 난방 시스템, 2 구역 온도 제어, 통합 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 와 같은 고급 기술이 특징입니다. 이를 통해 질화 (nitridation) 및 승화 과정뿐만 아니라 정확한 증착 및 에칭 프로세스가 가능합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK (TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK) 은 고급 기능을 통해 고품질의 정확한 웨이퍼 제작이 가능하므로 모든 개발 및 생산 실험실에서 탁월한 선택이 가능합니다.