판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381821

ID: 9381821
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-002 Gas: Pure N2, SiH4, N2O 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 안정적이고 정확한 생산을 위해 설계된 고정밀 확산 로와 관련 액세서리입니다. 303i-K는 고급 3 구역 관로 디자인과 맞춤형 통합 벨로우 (bellows) 를 사용하여 최적의 프로세스 제어를 위해 균일 한 온도 프로파일을 만듭니다. 이 우수한 엔지니어링 및 최신 기능의 조합으로 인해 303i-K 는 다양한 애플리케이션 요구 사항에 적합합니다. TEL ALPHA 303IK의 고급 엔지니어링 (Advanced Engineering) 은 프로세스 제어 및 열 성능을 최적화하는 다양한 인상적인 기능을 제공합니다. 우수한 열 단열을 제공하는 효율적인 세라믹 난방 요소 구조가 특징입니다. 이 디자인은 열 손실을 줄이고 효과적인 열 제어를 허용합니다. 또한, 통합 된 스테인리스 스틸 벨로우는 용광로 챔버 전체에 균일 한 온도 분포를 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K의 고급 디자인은 뛰어난 프로세스 안정성과 일관성을 제공합니다. 통합 마이크로 프로세서 기반 제어 장비는 확산 과정에서 모든 지점에서 정확한 온도를 보장합니다. 공기냉각장치가 내장되어 있어 열 충격으로부터 빠른 복구 (recovery) 가 가능하므로 프로세스 중단 시간을 최소화할 수 있습니다. 제어 장치는 또한 상당한 프로세스 자동화 및 데이터 스토리지 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK에는 최대 효율과 정밀도를 보장하는 다양한 정밀 액세서리가 포함되어 있습니다. 맞춤형 로드 잠금 (load lock), 프로세스 챔버 및 프로세스 지원 시스템을 통해 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 표준 액세서리에는 열 컨트롤러, 대량 흐름 컨트롤러, 샘플러, 헬륨 누출 탐지기 및 안전 시스템이 포함됩니다. 유지 보수 및 수리를 위해 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 쉽게 액세스 할 수 있도록 설계되었습니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 검사를 위해 쉽게 접근 할 수 있으며 모듈식 공정 챔버 (modular process chamber) 는 빠르고 간단한 수리를 가능하게합니다. 지능형 제어 시스템은 자세한 진단 기능을 제공하며, 문제 해결 및 유지 관리 절차를 지원합니다. 전반적으로, Alpha 303i-K는 정확하고 안정적인 제조 작업을 위해 설계된 최첨단 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 고급 설계, 통합 컨트롤, 정밀 액세서리를 갖춘 ALPHA 303 I K 는 다양한 프로세스 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다.
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