판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281998

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 확산 로와 그 액세서리 장비로, 고급 장치 제작에 사용하도록 설계되었습니다. 탁월한 수동성 (passivation performance) 을 통해 고효율적이고, 안정적이며, 강력한 시스템입니다. TEL ALPHA 303IK 장치에는 고광택 챔버 벽과 액세서리 구성 요소가있는 주 확산 로가 제공됩니다. 확산 로에는 다양한 반도체 기판에 적합한 다양한 세라믹 (ceramic) 및 합금 (alloy) 재료가 있으며, 생산되는 각 장치는 최고 수준의 성능을 갖습니다. 기계는 또한 고급 온도 조절 기능 (temperature control features) 을 가지고 있어 가열 온도를 정확하고 정확하게 제어하고 기판 손상 또는 결함을 최소화합니다. 또한, TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K 도구에는 빠른 가스 제거를위한 추출기 가스 자산이 있습니다. 모델의 주요 액세서리 구성 요소는 퍼니스 로봇 (furnace robot) 으로, 웨이퍼 로드 및 언로드 프로세스를 효율적으로 자동화합니다. "와퍼 '를 용광로 에 정확 하게 배치 할 수 있는 특수 한 움직이는 팔 이 있다. 용광로 (furnace) 로봇은 또한 모든 크기의 웨이퍼를 수용할 수있는 유연한 설계를 가지고 있으며, 빠른 로드/언로드 주기 시간이 있습니다. 로봇은 또한 최적의 균일성과 수율을 위해 고정밀 정렬이 가능합니다. TEL ALPHA 303 I K 장비에는 가스 흐름을 제어하기위한 편광 셔터 시스템도 포함되어 있습니다. 이 장치는 최적의 산화/감소 제어 및 정밀 가스 전달을 위해 설계되었습니다. 또한 셔터 머신 (shutter machine) 에는 각 디바이스 구성 프로세스의 요구에 맞게 셔터 너비를 조정할 수 있는 고도로 반응적인 조정 도구가 있습니다. 마지막으로 ALPHA 303IK 에셋에는 ALTAIR 통합 소프트웨어 모델이 함께 제공됩니다. 이 장비는 다양한 전문 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 최고 수준의 성능 (Performance) 및 디바이스 수익률을 위해 프로세스 윈도우 (Process Window) 를 최적화할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 시스템 (Software System) 은 프로세스 제어 기능을 단순화하고 자동화하며, 많은 유용한 보고서와 그래픽 디스플레이 (Graphic Display) 를 제공하여 디바이스 구성 결과를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 주요 확산 로와 액세서리 구성 요소를 특징으로하는 장치 제작을위한 강력하고 신뢰할 수있는 장치입니다. 이 기계는 효율성이 높고 수동화 (passivation) 성능이 뛰어나며, 고급 기능과 소프트웨어 툴을 통해 디바이스 운영 프로세스를 단순화하고 자동화할 수 있습니다.