판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9274259

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9274259
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Diffusion furnace, 12" POLY VMM-56-002 GFC (SiH4 ,0.1%PH3 / N2, CiF3) 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K는 다양한 전자 부품의 효율적인 제조를 위해 설계된 확산 용광로 장비 및 관련 액세서리입니다. 이 용광로 및 관련 부품은 반도체 (반도체) 기술을 생산하는 기업의 주식입니다. 이 확산 용광로는 로드 락 형 용광로이며, 최대 900 ° C의 온도 범위는 ± 50 ° C입니다. 용광로에 포함 된 조절 가능한 2 개의 포트 진공 펌프 시스템은 안전하고 안정적인 운영 환경을 보장하기 위해 광범위한 안전 인터 락 유닛 (Safety Interlock Unit) 및 중요한 진공 구성 요소와 쌍을 이룹니다. 이 확산 퍼니스는 또한 정밀한 프로세스 제어를 위해 고속 데이터 로깅을 갖춘 고급 원격 모니터링 머신 (Advanced Remote Monitoring Machine) 을 자랑합니다. 확산 로 외에도 TEL ALPHA 303IK 도구에는 여러 가지 다른 액세서리가 포함되어 있습니다. 여기에는 매끄럽고 안전한 작동을 보장하기 위해 단일 웨이퍼 카세트, 2 웨이퍼 로봇 암 (Robot Arm) 및 계측 보호를위한 로우 레벨 인듐 팬 (indium pan) 이 포함됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K에는 웨이퍼 및 부품 처리를 정확하게 모니터링하기 위해 공기와 산소를 정확하게 제어 할 수있는 히터 커버 (heater cover) 및 히터 베이스 (heater base) 도 포함됩니다. 이 확산 로의 또 다른 특징은 수동 카세터 잡지로, 최대 32 개의 6 "웨이퍼 또는 100 개의 4" 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 카세트는 캐리어 나 로봇 암 (Robot Arm) 없이도 작동 할 수 있으며, 시작하지 않은 사용자는 간단한 원버튼 운영 자산을 빠르게 배울 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K에는 Gas Cylinder Rack 및 Gas Cylinder Rack motor (옵션) 가 포함되어 있으며 정확한 온도 추적 및 모니터링을 위해 단일 웨이퍼 위치를 프로그래밍할 수 있습니다. 결국, Alpha 303i-K는 수많은 전자 부품 제조를 위해 효율적이고 안정적인 모델을 제공합니다. 조절이 가능한 부품, 고온 범위 (High Temperate Range), 정확한 원격 모니터링 장비의 범위는 반도체 (Semiconductor) 기술을 다루는 모든 회사의 귀중한 장비입니다.
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