판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #82006
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판매
ID: 82006
Vertical Nitride Furnace, 12"
OHT Automation
12" SEMI Std – Notch
Wafer Notch Aligner
Carrier Type FOUP: Entegris A300
Buffer capacity: 16 FOUPS
Fork Material: 1+4 Al2O3 Standard
Boat type: (127) slots, 7mm pitch
Boat rotation: installed
Pedestal: Quartz + SiC
System Controller: WAVES
M560A Phase Furnace Temperature Controller
Heater Type: FTP VOS-56-003 4-zone / RT – 1050C
Process Pressure: 190mTorr
2-Boat type operation
Carrier I/D Reader: Asyst RF
Gas Distribution
Fujikin Manual Valve
Fujikin air-operated valves
Mikrolis filter
Kinetics (Unit) Digital MFC
MKS/Asahi Keiki Pressure Transducers
Soft backfill injector installed
Vacuum Exhaust Heated with MKS Heaters
CKD-VEC Vacuum pressure controller
Vacuum Gage – Pressure Controller MKS (Hot) Capacitance Manometer
Main Valve is CKD Combo
Water Cooled Trap
Rapid Cooling Unit
480VAC 3 phase 60 Hz, 250A
120VAC one phase 60Hz, 50A
Power box Top input entrance location
Gas System
N2O 0.5 SLM
N2 (spare) 5SLM
N2 (Spare 5SLM
SiH2Cl2 0.2SLM
NH3 2.2SLM
Pure N2 (130SLM)
N2 Purge Box
Pure N2 –3 1100SLM
Pure N2-4 500SLM
Rapid Cooling Unit
CDA
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K 확산 로는 단일 웨이퍼 확산을 위해 설계된 고성능 전문가 등급 로입니다. 기판 전달 및 처리를 위해 매우 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 이 용광로 (furnace) 는 소형 및 대형 기판 모두에서 다중 레이어 에칭 및 증착을 수행하도록 설계되었으며, 최대 웨이퍼 크기는 최대 8 인치입니다. TEL ALPHA 303IK의 심장은 에너지 효율, 고온 난방 챔버로, 빠른 열 어닐링 및 산화를 위해 최대 1400 ° C의 온도를 제공합니다. 직접 구동, 고온의 쿼츠 램프 (lamp) 어레이를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에 균일하고 일관된 열 분포를 제공합니다. 조절 가능한 스텝 온도 프로파일을 사용하면 용광로 챔버 (furnace chamber) 전체에서 온도 기울기를 정확하게 제어할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 이중 전리품 밀봉이있는 무거운 기계식 프레임을 특징으로하여 고온에서 균일 한 열 및 운동 특성을 보장합니다. 또한 "로봇 '원소, 자동화 된" 센서' 의 배열, 독립적 인 대기 장치 "시스템 '및 직관적 인" 소프트웨어' "패키지 '를 포함 한 여러 가지" 액세서리' 를 제공 하여 사용자 들 이 그 들 의 설정 을 쉽게 "프로그램 '할 수 있게 해 준다. 용광로는 유해 온도 차이를 감지하기위한 여러 온도 프로브, 부품 오염 가능성을 감지하는 압력 센서, 비상 상황에서 용광로 작동을 막기 위한 진공 인터럽트 스위치 (vacuum interrupt switch) 등 다양한 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 최고의 정밀 청소실 자동화 시스템 인 E-Clean ™ 과 완벽하게 통합되어 있으며, 이는 청소 환경 및 전통적인 제조 환경에 이상적입니다. 알파 303i-K (Alpha 303i-K) 는 고급 확산 프로세스를 위해 안정적이고 반복 가능하며 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 최첨단 디자인과 고급 안전 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K 확산 로는 단일 웨이퍼 확산 기계의 정점입니다.
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