판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293821216
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ID: 293821216
빈티지: 2003
Furnace
Process: TEOS
Type: LP-CVD
Three phase power: 208 V
VMM-56-002 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC: STEC
Gas: N2, TEOS
Not included: Quartz
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K는 확산 로와 액세서리의 최신 제품으로, 다운타임을 최소화하면서 안정적이고 효율적인 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 장비는 수직 (vacuum) 용광로이며, 상부 (upper loading) 공간과 상단 (stay-open) 하부 도어를 사용하여 제한없이 샘플을 쉽게 삽입 및 제거 할 수 있습니다. 최대 온도는 1200 ° C이며, 최대 2 개의 샘플을 수용 할 수있는 공랭식 흑연 난로가 포함됩니다. 이 시스템에는 정확한 온도 조절 및 효율적인 작동을 위해 고정밀 온도 컨트롤러 (HPC) 가 제공됩니다. 제어기는 열 절연 재료를 사용하여 방사선을 차단하고 열 누출을 최소화합니다. 추가 안전을 위해 온도 설정 및 연동 회로가 제공됩니다. 용광로에는 성능 향상을 위해 다양한 표시등 (indicator lamps) 과 경보 시스템이 장착되어 있습니다. TEL ALPHA 303IK에는 비활성 및 비활성 가스 작동에 사용할 수있는 비활성 가스 장치 (inert gas unit) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 자동 가스 교환을위한 이중 챔버 (dual-chamber) 구조를 특징으로하며, 가스 누출을 완화하기위한 자동 압력 잠금 도구가 있습니다. 안전성을 강화하기 위해 긴급 정지 (Emergency Stop) 스위치가 포함되어 있어 긴급 상황에 대비하여 자산을 차단할 수 있습니다. 전용 원자로를 통해 TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 안정적이고 정확하고 습하거나 건조한 에치 및 증착 과정을 제공합니다. 원자로는 다양한 구성으로 제공되며, 응용 프로그램에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 고유한 컬러 코딩 (color-coding) 모델로 식별되며, 사용자가 작업에 가장 적합한 원자로 (reactor) 를 빠르고 정확하게 선택할 수 있습니다. TEL Alpha 303i-K 는 안정적이고 효율적인 확산 장비를 원하는 기업을 위한 탁월한 확산 용광로 및 액세서리 패키지를 제공합니다. 직관적인 제어와 최소한의 가동 중지 시간 (downtime) 을 통해 탁월한 성능을 제공합니다. 상용 애플리케이션이든 리서치 애플리케이션이든, ALPHA 303 I K 는 기업을 위한 완벽한 올인원 솔루션입니다.
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