판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293808461
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ID: 293808461
빈티지: 2003
Furnace, 12"
Process: Pyro
FUJIKIN LP-CVD
VOS-56-002 Heater
Signal tower
Buffer storage
Load port
FFU
ETC
FMS Port
Wafer transfer
Control board
GFC Panel
Operation panel
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
Temperature controller
EMO Unit
WAVES Controller
Hardware switch
Transformer
SCR Unit
SCR Controller
Boat elevator
Auto shutter
Scavenger
Manifold
Boat transfer
Boat stage
Gases: N2, O2, H2
Missing parts:
QUARTZ
Heater power cable
Power supply: 400 V
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K 확산 로는 단일 웨이퍼 확산을 위해 설계된 고성능 전문가 등급 로입니다. 기판 전달 및 처리를 위해 매우 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 이 용광로 (furnace) 는 소형 및 대형 기판 모두에서 다중 레이어 에칭 및 증착을 수행하도록 설계되었으며, 최대 웨이퍼 크기는 최대 8 인치입니다. TEL ALPHA 303IK의 심장은 에너지 효율, 고온 난방 챔버로, 빠른 열 어닐링 및 산화를 위해 최대 1400 ° C의 온도를 제공합니다. 직접 구동, 고온의 쿼츠 램프 (lamp) 어레이를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에 균일하고 일관된 열 분포를 제공합니다. 조절 가능한 스텝 온도 프로파일을 사용하면 용광로 챔버 (furnace chamber) 전체에서 온도 기울기를 정확하게 제어할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 이중 전리품 밀봉이있는 무거운 기계식 프레임을 특징으로하여 고온에서 균일 한 열 및 운동 특성을 보장합니다. 또한 "로봇 '원소, 자동화 된" 센서' 의 배열, 독립적 인 대기 장치 "시스템 '및 직관적 인" 소프트웨어' "패키지 '를 포함 한 여러 가지" 액세서리' 를 제공 하여 사용자 들 이 그 들 의 설정 을 쉽게 "프로그램 '할 수 있게 해 준다. 용광로는 유해 온도 차이를 감지하기위한 여러 온도 프로브, 부품 오염 가능성을 감지하는 압력 센서, 비상 상황에서 용광로 작동을 막기 위한 진공 인터럽트 스위치 (vacuum interrupt switch) 등 다양한 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 최고의 정밀 청소실 자동화 시스템 인 E-Clean ™ 과 완벽하게 통합되어 있으며, 이는 청소 환경 및 전통적인 제조 환경에 이상적입니다. 알파 303i-K (Alpha 303i-K) 는 고급 확산 프로세스를 위해 안정적이고 반복 가능하며 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 최첨단 디자인과 고급 안전 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K 확산 로는 단일 웨이퍼 확산 기계의 정점입니다.
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