판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293618106

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 293618106
웨이퍼 크기: 12"
LPCVD Furnaces, 12" Process: MTO Heater type: VMM-56-002 Non-load lock Gases: N2 SiH4 N2O.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K 확산 광로 및 액세서리는 고품질 반도체 장치 생산을 위해 안정적이고 고급 솔루션을 제공하기 위해 특별히 설계되었습니다. 우수한 강착 균일성, 온도 정확도 및 제어를 제공하는 고급 난방 시스템입니다. 303i-K 모델은 확산 용로, 도가니, 절연 재료, 벨로우, 진공 펌프 및 전자 캐비닛으로 구성됩니다. TEL ALPHA 303IK의 확산 로는 양극이 한 쪽, 음극이 다른 쪽 인 스테인리스 스틸 박스 (stainless steel box) 입니다. 23 점 난방 요소가 특징이며, 이는 항상 뛰어난 균일성을 제공하는 특수 열 분포 시스템입니다. 도가니는 8 "x 8" x 24 "용량의 알루미나와 석영 재료로 만들어집니다. 절연 물질 은 "흑연 시트 '와 절연 절연" 테이프' 형태 로 제공 되며, 이 두 가지 모두 훌륭 한 격리 와 온도 조절 을 제공 한다. 벨로우 (bellows) 는 절연 물질과 함께 작동하여 작동 중에 원하는 압력을 유지하기 위해 특수 진공 펌프입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K의 전자 캐비닛은 용광로 작동을 최적으로 제어하는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 여러 사용자 친화적 디스플레이와 전원 공급 장치 연결용 전기 커넥터 (Electrical Connector) 를 갖춘 제어판 (Control Panel) 이 포함되어 있습니다. 또한, 챔버 내부의 가스 및 압력 흐름을 조정하기위한 수동으로 작동하는 흐름 제어 시스템 (flow control system) 을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK 확산 광로 및 액세서리는 고품질 반도체 장치 생산을위한 고급, 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 특수 난방 요소는 뛰어난 균일 성, 온도 정확성 및 제어를 제공합니다. 또한 편리한 전자 캐비닛, 우수한 격리 및 온도 조절을위한 효율적인 진공 펌프 및 절연 재료를 갖추고 있습니다. 이 확산 용광로 및 액세서리는 신뢰할 수 있고, 비용 효율적이며, 효율성이 뛰어나며, 최상의 성능을 제공합니다.
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