판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606621

ID: 293606621
빈티지: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K는 다양한 기술 응용 분야에 사용되는 기판 재료를 대상으로하는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 용광로는 1980 년대에 개발되어 현재 산업 규모로 널리 사용되는 일본 확산 용광로 (diffusion furnace) 기술의 초기 예 중 하나 인 303 시리즈 확산 용광로의 일부입니다. TEL ALPHA 303IK는 1,000, 1100 및 1200 ° C의 온도에 도달 할 수있는 3 구역 석영 세라믹 챔버를 특징으로하여 확산 구역을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것 은 "스탠드 ', 책상 혹은 기타 부대 위 에 놓이도록 설계 되어 있으며, 특별 한 환기 장치 가" 챔버' 의 방출 을 안전 하게 제거 하기 위하여 포함 되어 있다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 물질을 가열하기 위해 단일 할로겐 또는 제논 소스를 사용하지만, 다른 가열 소스는 TEL 또는 기타 전문 제조업체 또는 공급 업체를 통해 이용할 수 있습니다. 챔버에는 8 인치 웨이퍼 튜브 (wafer tube) 가 있어 챔버에서 실제 확산 구역으로 빠르고 정확한 웨이퍼 이동이 가능합니다. 추가 기능에는 임베디드 컨트롤러 (Embedded Controller) 가 포함되며, 온도, 압력, 가열률, 웨이퍼 크기 등의 다양한 매개변수와 설정을 사용하여 프로그래밍할 수 있습니다. 임베디드 컨트롤러 (Embedded Controller) 를 사용하면 시간이 정해진 프로세스를 쉽게 설정할 수 있으므로 챔버의 작동을 자동화할 수 있습니다. TEL 알파 303i-K (TEL Alpha 303i-K) 의 안전 기능에는 온도 및 압력을 모니터링하는 2 세트의 안전 센서가 포함되며, 안전 기준을 초과하면 확산 챔버를 종료할 수 있습니다. 그 에 더하여, 진공실 에는 압력 과 온도 를 포함 하여 여러 가지 "센서 '가 들어 있는데, 이것 은 위험 한 상황 이 발생 할 경우, 용광로 를 차단 하는 데 다시 사용 할 수 있다. 전반적으로, ALPHA 303 I K는 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 확산 로이며, 제조 및 엔지니어링 프로세스에 이상적인 다양한 기능을 자랑합니다. 안전 기능뿐만 아니라 신중하게 고려하고 효율적인 히터 시스템은 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K를 산업 고객에게 이상적인 선택으로 만듭니다.
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