판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606617

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K는 웨이퍼 및 장치의 열 처리를 위해 설계된 포괄적 인 확산 로와 액세서리입니다. 이 완전 자동화 장비는 실리콘 온 인슐레이터 (SOI), 복합 반도체 및 MEMS 장치 제조에 이상적입니다. 높은 운영 처리량, 기존 Fabrication 툴과의 간편한 통합, 뛰어난 디바이스 품질을 제공합니다. 303i-K에는 빠른 열 처리 (RTP), 산화물 리플로우, 금/금속 리플로우 및 과열 SiO2 증착을 포함한 다양한 고급 프로세스 기능이 있습니다. 강력한 자동 제어 시스템 (Autocontrol System) 은 또한 높은 정밀 온도 제어를 제공하여 다중 처리 시 정확한 프로파일 반복성과 정확성을 제공합니다. 이 기계는 열로 인한 스트레스로 인한 가장자리 유전체 손실과 뒤틀림을 줄이는 독특한 냉각 장치 (cooling unit) 를 갖추고 있습니다. 기계는 웨이퍼 (wafer) 나 장치의 상단 및 후면 (rear surfaces) 을 냉각시켜 작동하며, 측면은 원하는 프로세스 프로파일에 따라 가열됩니다. 이것은 고효율 열 확산을 보장하는 한편, 고르지 않거나 과도한 가열로 인한 손상을 제한합니다. 또한 303i-K에는 보호 실드 (Protective Shield) 및 신뢰성이 높은 비상 정지 도구 (Emergency Stop Tool) 를 포함한 다양한 고급 안전 기능이 포함되어 있습니다. 최근 RoHS 규정 준수를 위한 독립 연구소 (Independent Lab) 의 인증을 받았으며, 이를 통해 전 세계 여러 국가에서 사용할 수 있습니다. 또한 원격 모니터링 및 유지 보수 (maintenance) 기능을 통해 실시간 제품 성능 데이터를 액세스할 수 있습니다. 마지막으로, 303i-K 는 유연한 작동 모드 (operation mode) 를 제공하여 시스템 설정을 특정 디바이스의 개별 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 종합적인 설명서와 더불어 사전 경험이 없는 사용자가 자산을 신속하게 숙지하고 고급 (advanced) 기능을 완벽하게 활용할 수 있게 해 줍니다. 전반적으로 TEL ALPHA 303IK는 열 확산 및 제작을위한 효과적인 솔루션으로, 뛰어난 프로세스 정확성과 반복 성을 제공합니다.