판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606616

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K) 는 반도체 제조 공정에 사용되는 확산 용광로이며 시장에서 가장 진보하고 신뢰할 수있는 제품 중 하나입니다. TEL ALPHA 303IK는 저온, 고성능 확산 로로, 특히 박막 응용 프로그램의 최대 정확도를 제공합니다. 이 모델은 다단계 확산 공정을 위해 최대 5 개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공하며, 높은 정확도와 뛰어난 균일성으로 재현 가능한 산화물 두께를 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K 확산 용광로는 퍼징을 위해 질소 가스를 사용하며 부동 보트 형상으로 구성됩니다. 상부 및 하부 보트는 독립적 일 수 있으므로, 다른 지역에 대해 다른 처리 온도를 허용합니다. 이 용광로에는 또한 공정을 모니터링하기 위해 디지털 온도 조절 및 도량형 (metrology) 이 장착 된 정교한 제어 보드가 포함되어 있습니다. 용광로 뒤, 측면, 아래쪽에 배치된 가열 요소 배열은 정확한 온도 조절 및 균일성을 촉진합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK (TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK) 은 폭발의 위험을 최소화하고 산화종의 증착 속도를 줄이기 위해 발열 산화실을 포함하여 안전과 정확성을 개선하기위한 몇 가지 특징으로 설계되었습니다. 확산 보트 프로파일 (diffusion boat profile) 은 이중 밀봉되며, 공정을 오염으로부터 보호하기 위해 가스 박스가 있습니다. 보트는 또한 서스펜션 스프링 (suspension springs) 또는 웨지 (wedges) 로 지원되어 보트를 안정화하고 열 스트레스를 줄입니다. 또한이 퍼니스에는 쿼츠 차폐 히터 존 (quartz-shielded heater zone), 세라믹 차폐 후 열 영역 (ceramic-shielded post-heat zone) 및 프로세스 정확도를 더욱 향상시키는 비활성 버퍼 존 (inert buffer zone) 이 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K에는 열 산화 습식 벤치, 오존 프리 드라이 에치 시스템 및 금속 CVD를 포함한 모든 옵션 액세서리 스위트가 제공됩니다. 주요 기능은 뛰어난 반복성과 재현성을 제공하여 높은 생산량을 제공합니다. 이 확산 용광로는 또한 높은 처리량을 제공하며 최대 6.5 "x 5.75" 의 챔버와 호환됩니다. 모든 TEL 제품은 강력한 품질 제어 시스템으로 제작되어 안정적인 성능을 보장합니다. 여기에는 고급 프로세스 제어 (process control) 와 전문가의 조언과 지원을 받을 수 있는 전담 고객 서비스 팀 (customer service team) 이 포함됩니다. TEL ALPHA 303 I K에는 전례없는 마음의 평화를 위해 24 개월 보증, 최대 24 개월 동안 부품 및 노동이 포함됩니다.