판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606614

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K는 반도체 처리 분야의 다양한 응용 분야에 적합한 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 강력하고 신뢰할 수 있는 장비는 여러 가지 기능 (특히 오늘날 업계의 요구를 충족하도록 설계된) 을 제공합니다. 특별히 설계된 TEL ALPHA 303IK는 특허를받은 저온/고압 등압 가열 요소를 가지고 있으며, 이는 고속 어닐링, 최대 공정 온도 3000 ° C 및 균일 한 온도 범위 0 ° C - 1960 ° C를 보장합니다. 이 기능은 또한 0.01 ° C/min에서 20 ° C/min까지 광범위한 난방 속도를 허용합니다. 확산 로에는 균일 한 압력 분포 시스템 (pressure distribution system) 이 있는데, 이 시스템은 보다 정확하고 일관된 결과를 얻기 위해 처리 실 내에서 온도와 압력을 균등하게 분배하는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K에는 직관적 인 소프트웨어 인터페이스가 장착되어 있어 프로세스 제어가 향상되고, 작동이 간편합니다. 또한 최첨단 전기 제어 시스템 (State-of-the-art Electrical Control System) 이 제공되어 유연성과 절대 정밀도로 광범위한 프로세스 온도에서 작동 할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K는 최대 4 개의 로드/언로드 시스템을 수용 할 수 있으므로 생산성이 향상됩니다. 이 확산 로에는 과열 보호, 산소 농도 조절, 전력 및 용광로 모니터링을위한 릴레이 (relay) 와 같은 최첨단 안전 기능이 추가로 장착되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK에는 온도가 내장되어 있어 프로세스 조건에서 쉽게 불일치를 감지 할 수 있습니다. 또한, 이 고품질 및 잘 설계된 장치에는 전송 선박, 가스 배기 시스템, 가스 매스 컨트롤러, 퍼니스 덮개 리프팅 장비 및 풀 서비스 키트와 같은 액세서리가 제공됩니다. 이러한 구성요소는 함께, 시스템이 운영자를 위한 내구성, 안정성, 일관성 있는 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 요약하면, ALPHA 303 I K (I K K) 는 반도체 처리 분야에서 광범위한 응용을 처리 할 수있는 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 이 제품은 등방성 난방 요소, 쉬운 작동 및 프로세스 제어, 신뢰할 수있는 전기 제어 시스템, 안전 기능, 다양한 액세서리 (accessorie) 등 다양한 기능을 제공합니다. 결과적으로, 이 확산 용광로는 모든 처리 환경에서 반드시 충족하고 기대치를 초과 할 수 있습니다.