판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9377244

ID: 9377244
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Vertical anneal furnace, 12" H2 Anneal 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H Diffusion Furnace는 최첨단 열 처리 툴로, 전자 장치의 효율적이고 안정적인 확산을 제공합니다. TEL Alpha 303i-H는 다음을 포함하여 최고의 산업 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 고성능, 안정적인 주기 최적화, 다양한 실시간 제어, 전력, 시간, 비용 절감 TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H Diffusion Furnace는 가장 까다로운 장치 제조 응용 분야에 최적의 선택입니다. 알파 303i-H (Alpha 303i-H) 는 배타적이고 우아한 와이드 프로파일 설계로 처리량을 향상시키고 주기 시간을 줄였습니다. 최신 서보 전자 기술 (servo-electronic technology) 과 고급 소프트웨어 제어 (advanced software control) 기능을 통해 벌크 웨이퍼 (bulk wafer) 와 에지 (edge) 프레임을 모두 빠르고 정밀하게 처리할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H는 큰 스테인리스 강철 히터 블록으로 0 ~ 1100 ° C의 빠르고 균일 한 가열로 ± 3 ° C의 뛰어난 온도 균일성을 달성합니다. TEL Alpha 303i-H의 다른 기능은 다음과 같습니다. 히터 블록에 쉽게 접근 할 수있는 인체 공학적 챔버 인테리어, 우수한 균일성을위한 고온 팬-비 강제 대류 시스템, 속도/온도 제어를 통한 온도 램핑 (Temperature Ramping), 초고압 기능 및 조절 가능한 유속 (Flow Rate) 을 갖춘 저압 시스템 설계. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H는 또한 다음을 포함하여 성능을 향상시키기 위해 다양한 액세서리를 제공합니다. 사용자 친화적 인 작동을위한 터치 스크린, 수동으로 작동하는 디스크 형 웨이퍼 홀더 (최대 10 개의 웨이퍼 포함), 최대 25 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 다양한 이동식 카세트 형 웨이퍼 홀더, 향상된 샘플 균일성, 대용량 장착 된 진공 펌프 및 패시브 시스템. 알파 303i-H 확산 퍼니스 (Alpha 303i-H Diffusion Furnace) 는 고급형 확산 애플리케이션에 이상적인 시스템으로, 사용자에게 최고 수준의 균일성, 신뢰성 및 성능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H는 뛰어난 온도 균일성, 뛰어난 온도 응답성, 강력하고 다양한 도구를 통해 고급 장치 제조에 필수적인 도구입니다.
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