판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097240

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H는 UHP (Ultra-High Purity) 반도체 장치 처리를 위해 설계된 고성능 수직 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 시스템은 우수한 공정 능력과 온도 균일성을 갖추고 있으며, 온도 범위는 실내 온도에서 1000 ° C입니다. 또한이 장치는 최대 8 인치의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 초저저저항성 처리를 위한 것입니다. 이 기계에는 정확한 온도 균일 제어 기능을 제공하는 Carrier Flow ™ 기술이 있습니다. 이 기술은 온도 속도 균일성 (temperate rate unifority) 을 개선하여 우수한 장치 수율로 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. 이 도구에는 가스 흐름 속도에 대한 정확한 제어, 균일 한 외장 벽, 가열 된 웨이퍼의 부드러운 격리 (gentle containment) 를 제공하는 Glide Elements ™ 기술도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 의 측면 변위를 방지하고 웨이퍼 서피스의 균일한 가열을 보장할 수 있습니다. 에셋에는 독특한 난방 요소 (heating element) 와 온도 센서 구성 (temperature sensor configuration) 이 포함되어 있어 히터 전원 및 온도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 특허를받은 온도 보상 장비 (온도 변화 방지) 가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 서피스뿐만 아니라, 두 시간 동안 최적의 온도 균일성을 보장할 수 있습니다. TEL Alpha 303i-H는 또한 비활성 분위기를 특징으로하여 다양한 프로세스 작업에 적합합니다. 초고순도 작동을 보장하기 위해 이 시스템에는 전처리 (pre-processing) 및 후처리 (post-processing) 베이크아웃과 특허를 획득한 빠른 열 어닐링 솔루션이 모두 장착되어 있습니다. 이를 통해 높은 장치의 생산과 강력한 프로세스 운영을 보장할 수 있습니다. 이 장치에는 안전 장치 (Safety Unit) 도 포함되어 있어 피해에서 인력, 장비에 이르는 적절한 수준의 보호를 제공합니다. 안전 장치 (Safety Unit) 는 기계 및 전기 보호를 모두 포함하며, 연동기 및 기타 안전 승인을 포함합니다. 또한, 안전 장치에는 인원과 장비의 안전성을 더욱 향상시키는 일련의 LED 표시기가 포함되어 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H는 뛰어난 공정 능력, 온도 균일성 및 웨이퍼 처리 수율을 제공하는 고급 확산 로와 액세서리 도구입니다. 이 자산은 UHP 장치 처리를 위해 설계되었으며, Carrier Flow ™ 기술 및 Glide Elements ™ 기술, 특허받은 온도 보상 모델 및 안전 장치 (Safety Unit) 를 모두 갖추고 있어 안정적이고 비용 효율적인 반도체 장치 제조에 적합합니다.