판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097239

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H는 시장에서 가장 발전된 반도체 웨이퍼 처리 확산 용로 중 하나입니다. 이 4 기판 용광로 장비는 혁신적인 고급 디자인과 맞춤형 설정을 통합하여 고품질 웨이퍼링 (wafering) 및 뛰어난 웨이퍼 균일성을 제공합니다. TEL Alpha 303i-H에는 여러 개의 로드 포트와 옵시디언 (Obsidian) 논리 컨트롤이 장착되어 있어 로드 및 언로드 영역 모두에서 코어 퍼니스 온도를 자동으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H의 독특한 디자인은 확장 된 히터 수명, 증기 및 가스 순도 증가, 향상된 웨이퍼 균일성, 정확한 온도 조절 및 기판의 빠르고 효율적인 로딩 및 언로딩을 가능하게합니다. 알파 303i-H (Alpha 303i-H) 는 순도 및 가스 사용 효율을 극대화하는 독특한 통합 가스 관리 시스템으로 설계되었습니다. 배기 손실, 확장 가능한 퍼지 시간, 조정 가능한 흐름 및 압력 설정, 열 균일성 향상을 위해 폐쇄 된 챔버 장치 (closed chamber unit) 를 줄이기 위해 고급 밸브와 통풍구가 특징입니다. 이 기계에는 또한 진공 스위치, 데이터 포트 및 액티브 워터 제트 펌프 (Active Water Jet Pump) 가 포함되어 있어 온도 변동 감소, 순도 및 균일성 향상, 온도 균일 챔버의 일관된 증기 노출이 보장됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H에는 TEL PowerWaferII 고급 웨이퍼 전송 도구가 장착되어 있어 기판의 고정밀 로딩 및 언로드가 보장됩니다. 이 자산은 각 포트에서 개별 작동을 허용하며, 웨이퍼 폴오프 (wafer falloff) 및 입자 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. PowerWaferII에는 레이어 오염을 최소화하고 최대 웨이퍼 안정성을 보장하는 ACC (Automated Contamination Control) 모델과 가스켓 서브포트가 포함되어 있습니다. TEL Alpha 303i-H는 TOKYO ELECTRON 독점 사용자 친화적 인 MGC-25 플랫폼에서도 실행되며 유연한 프로그래밍 기능을 강조합니다. 이 플랫폼을 사용하면 사용자 정의 가능한 설정, 사전 프로그래밍된 기능, 자동 작업을 수행할 수 있으므로 확산 프로세스를 신속하게 구성, 변경, 모니터링할 수 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H 확산 로는 고급 모듈식 설계, 최적화 된 가스 관리 장비, 독점 PowerWaferII 웨이퍼 전송 시스템 및 사용자 친화적 인 MGC-25 플랫폼을 제공하여 뛰어난 웨이퍼 균일성과 오래 지속되는 성능을 제공합니다. 알파 303i-H (Alpha 303i-H) 는 다양한 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 확산 로입니다.