판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097236

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H
ID: 9097236
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Nitride furnace, 12", 2001 vintage.
고급 열 확산 로인 TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H는 최첨단 반도체 웨이퍼를 만들도록 설계되었습니다. 이 확산 장비에는 강력한 공랭식 유도로와 최대 온도 조절 및 정밀 처리를 위한 흑연 히터 (graphite heater) 가 포함됩니다. 전체 "시스템 '은" 스테인레스' 강철 주택 으로 둘러싸여 안전 을 보장 하고 외부 오염 으로부터 보호 해 준다. TEL Alpha 303i-H에는 확산 처리를 더 효과적이고 효율적으로 만드는 다양한 기능과 컴포넌트가 제공됩니다. 고급 광학 장치는 프로세스 챔버를 깨끗하게 유지하면서 가스 흐름, 온도, 압력을 모니터링합니다. 고급 확산 용광로 기술은 사용하기 쉽고, 직관적이며, 유지 관리하기 쉬운 패키지에 포함되어 있습니다. 용광로는 모듈 식이며, 토치, 로터리 승무원, 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 와 같은 추가 액세서리를 쉽게 설치할 수 있습니다. 또한 강력한 용광로는 저전력 소비량 (low-power-consumption) 설계를 통해 에너지를 절감하고 배출량을 최소화할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H 확산 로에는 이산화탄소 대기 센서, 희석 가스 제어기, 고급 공정 컨트롤러, 세라믹 브리지 등 다양한 액세서리가 탑재되어 있습니다. 이러한 액세서리는 프로세스 챔버에서 매개변수를 정확하게 제어하여 수율을 최대화하는 데 도움이됩니다. 이 도구의 흑연 히터 (graphite heater) 에는 뛰어난 온도 균일성과 제어를 보장하는 적응형 자체 튜닝 용량의 다중 영역 제어 에셋이 포함되어 있습니다. 흑연 히터는 또한 더 효율적이고 경제적인 확산 처리 솔루션을 제공하는 연료 절약 (fuel-saving) 작동 모드를 자랑합니다. 알파 303i-H (Alpha 303i-H) 는 강력하고 유능한 확산 로로, 다양한 기능을 통해 시장에서 최고의 시스템 중 하나입니다. 첨단 기술, 직관적인 디자인, 내장 액세서리는 모두 반도체 웨이퍼 (wafer) 연구자와 기술자에게 이상적인 선택입니다.
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