판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097227

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H 확산 광로 및 액세서리는 웨이퍼, 레드 및 기타 반도체 재료 처리를 포함하여 다양한 응용 분야에 사용되는 안정적이고 효율적인 확산 광로 장비입니다. TEL Alpha 303i-H에는 다양한 기능이 장착되어 있어 생산 및 시스템 유지 보수가 용이합니다. 스테인레스 스틸로 구성된 1000 리터 용량의 퍼니스 챔버 (furnace chamber) 를 통해 최대 60 분의 확산 시간을 허용합니다. 청결 한 분위기 를 보장 하고 유해 한 "가스 '를 줄이기 위해 배기 소진 장치 가 포함 된다. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H는 또한 다양한 가스 흐름, 조정 및 벌크 하드웨어 (예: 열 구역 및 웨이퍼 캐리) 를 지원합니다. 알파 303i-H (Alpha 303i-H) 에는 최고 1100 ° C 온도의 온도를 정확하게 제어 할 수있는 고급 제어 기계가 장착되어 있습니다. 이 사업자는 또한 배기 과부하/제거 도구, 백업 전력 내장 (Bist-In Backup Power), 통합 화재 억제 자산 (Integrated Fire Suppression Asset) 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이 모델에는 커스터마이징 가능한 사용자 인터페이스 (User Interface) 가 포함되어 있어 명령 프로그래밍이 용이하고, 장비, 운영 로그에 대한 실시간 온도 제어 및 액세스가 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H 확산 로와 액세서리는 표준 웨이퍼, 레드 및 기타 반도체 구성 요소를 포함한 다양한 구성 요소를 처리 할 수 있습니다. 또한 화학 증기 증착 (CVD), 확산, 산화, 질화물 증착 및 어닐링과 같은 다양한 표준 프로세스를 지원합니다. 안정적이고 유연한 확산 용광로 시스템으로서 99.999% 의 놀라운 성공률을 자랑하는 고품질 (A) 의 결과를 제공합니다. TEL Alpha 303i-H 확산 로에는 다양한 디퓨저 및 추가 액세서리가 제공되어 처리량을 향상시킵니다. 사용 가능한 다양한 액세서리로는 웨이퍼 캐리어, 히트존, 가스 흐름 컨트롤러 등이 있습니다. 안정적이고 효율적인 하드웨어와 액세서리의 조합으로 TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H 확산 로는 다양한 생산 요구에 적합합니다.