판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #9253025

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal은 업계 전문가의 요구를 충족시키기 위해 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 고급 퍼니스는 비활성 가스, 고온 어닐링 작업, 프로세스 컨트롤러 (process controller) 를 활용하여 모든 anneal operation의 온도를 모니터링하고 조정함으로써 정확하고 안정적인 확산을 제공합니다. 이 장치는 일관된 난방 및 냉각 온도를 유지하기 위해 고성능, 정확한 피드백 (feedback) 장비를 갖추고 있습니다. 이 피드백 시스템은 빠른 열 처리 및 펄스 어닐링 (pulse annealing) 을 포함한 복잡한 프로세스를 수행 할 때 특히 유용합니다. 사용자는 원하는 어닐링 온도 (annealing temperation) 와 압력 (pressure) 을 다양한 매개변수에서 선택할 수 있으며, 내장 프로세스 컨트롤러는 작업에 따라 설정을 자동으로 조정하여 정확성을 보장합니다. 정확한 anneal 운영 외에도 Alpha-303i는 내구성과 안전성을 제공합니다. "알루미늄 '은 가볍고 열 전도성 인" 알루미늄' 으로 구성 되어 있는데, 이것 은 신뢰성 을 보장 할 뿐 아니라 과열 및 화재 위험 의 위험 도 감소 시킨다. 밀봉된 비활성 가스 챔버 (inert gas chamber) 는 또한 용광로가 가연성 가스가 없도록 보장합니다. 추가 안전 기능에는 잘못된 설정이 입력되면 발동되는 경보 장치 (alarm unit), 챔버의 과압 방지를위한 가스 압력 안전 밸브 (gas pressure safety valve), 온도 변동으로부터 장치를 보호하기 위한 고급 온도 절연 (advanced temperature insulation) 이 포함됩니다. Alpha-303i는 온도 균일 성이 ± 1% 인 최대 1500 degC의 온도를 달성 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 어닐링 (wafer annealing), 에피 택시 증착 (epitaxial deposition), 도펀트 안정화 프로세스 등 여러 가지 추가 작업을 수행 할 수 있습니다. 이러한 작업은 다양한 주기 시간으로 완료할 수 있으며 컨트롤러의 7 인치 (7 인치) 터치 스크린 디스플레이에서 볼 수 있습니다. 마지막으로, Alpha-303i는 공정 가스 배기 기계, 도어 인터록 안전 기능 및 챔버 수냉식 도구 (chamber water-cooling tool) 와 같은 여러 엑스트라로 완성됩니다. 이 고급 (Advanced) 모델은 수동 (Manual) 및 자동 제어 (Automated Control) 작업도 모두 지원하며 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 다양한 디바이스 구성을 활용할 수 있습니다. 궁극적으로 TEL Alpha-303i Anneal (TEL Alpha-303i Anneal) 은 효율적이고 신뢰할 수있는 방식으로 광범위한 어닐링 작업을 완료 할 수있는 뛰어난 확산 용광로 자산입니다.