판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #293818364

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal은 자동 확산 로와 액세서리입니다. 박막 증착, 어닐링 및 기타 프로세스에 사용되는 고급 산업 어닐링 (industrial annealing) 장비입니다. 이 시스템에는 고급 온도 조절, 낮은 입자 생산, 높은 어닐링 속도 (annealing rate) 기능과 같은 여러 기능이 있습니다. 알파 -303i (Alpha-303i) 는 주로 온도 및 유속을 정확하게 모니터링하기위한 용광로와 가스 공급 장치로 구성됩니다. 용광로는 어닐링 기질이 배치 된 맑은 석영 튜브 (quartz tube) 를 가지고 있습니다. 이 맑은 석영 튜브 (quartz tube) 는 적외선 방사선의 높은 변속기를 가지고 있으며, 챔버 내에서 정확한 온도 측정 및 제어를 가능하게한다. 석영 튜브는 최대 1,400 도의 온도를 취할 수 있습니다. 또한, 석영 "튜브 '는" 스테인레스' 강 벽 에 싸여 있어 환경 방사선 으로부터 훌륭 한 보호 를 받는다. 공정에 적합한 가스는 통합 가스 공급 기계에서 공급됩니다. 이 도구를 사용하면 프로세스 조건에 따라 유량 (flow rate) 과 압력 (pressure) 을 정확하게 조정할 수 있습니다. "가스 '유동 을 조절 함 으로써" 필름' 의 산화 및 기타 반응 과정 을 "어닐링 '과정 중 에 피할 수 있으므로 열 안정성 이 뛰어나다. Alpha-303i에는 고급 자동 온도 제어 기술도 포함되어 있습니다. 이를 통해 어닐링 프로세스에서 각 단계의 정확한 온도 조정이 가능하여 정확한 어닐링 (annealing) 을 수행할 수 있습니다. 또한, 퍼니스는 다양한 수준의 원하는 어닐링 (annealing) 에 대해 다른 열 전달 모드에서 자유롭게 조정 할 수 있습니다. 이 기술은 많은 재료를 용접하기 위해 최적의 어닐링 온도 제어를 제공합니다. 고급 온도 제어 외에도 Alpha-303i는 입자 생산 능력이 낮습니다. 이 기능은 입자 물질 (particulate matter) 이 장치의 수율을 줄일 수 있으므로 낮은 입자 청결이 필요한 장치를 어닐링 할 때 특히 유용합니다. 알파 -303i (Alpha-303i) 는 지속적인 폐쇄 방지 구멍 제어를 사용하여 용광로에서 생성 된 입자를 최소화합니다. 마지막으로 Alpha-303i에는 높은 어닐링 속도 기능이 있습니다. 전체 프로세스 (어닐링 포함) 는 몇 분 안에 완료 할 수 있습니다. 데이터 로깅 자산을 사용하여 전체 프로세스를 기록할 수 있습니다. 이 모델은 네트워크 기능을 통해 사용자에게 피드백 (feedback) 을 제공할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 판단하고 제어 장비를 개선할 수 있습니다. 결론적으로, TEL Alpha-303i Anneal은 정확한 온도 조절, 낮은 입자 생산 및 높은 어닐링 속도 기능을 가능하게하는 고급 확산 용광로 및 액세서리입니다. 박막 증착 및 기타 어닐링 프로세스에 이상적인 선택입니다.