판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #293812986

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303i Anneal은 반도체 처리에 널리 사용되는 소형 고성능 확산 로입니다. 박막 증착을 위해 최대 1150 ° C의 온도에서 고품질 어닐링을 제공하도록 설계되었습니다. 그것은 균일 한 난방을 제공하고 최대 5 인치 웨이퍼를 균일하게 anneal 수있는 능력을 제공하도록 설계된 모든 세라믹 난로를 특징으로합니다. 용광로에는 뛰어난 정확성과 반복성으로 온도와 난방 속도를 제어하기 위해 PLC (programmable logic controller) 가 장착되어 있습니다. 또한 균일 한 가열과 핫스팟 및 산화를 방지하기위한 내장 핫 월 (hot-wall) 디자인이 특징입니다. 수동 온도 제어 (manual temperatic control) 와 자동 온도 제어 (automatic temperature control) 를 모두 통해 특정 요구를 충족하도록 연쇄 프로세스를 조정할 수 있습니다. TEL Alpha-303i Anneal은 또한 처리량 및 안전성을 높이기 위해 자동화 된 로드 스테이션과 자동 언로드 스테이션을 갖추고 있습니다. 이 퍼니스는 유지 보수 및 사용자 개입을 최소화하도록 설계되었으며, 멀티 스텝 프로그래밍 (multi-step programming), 전체 데이터 로거 (full data logger) 와 같은 고급 기능도 갖추고 있습니다. 핫 월 디자인으로 TOKYO ELECTRON ALPHA-303i Anneal은 품질을 희생하지 않고 짧은 기간 동안 우수한 Annealed 웨이퍼로 밝혀졌습니다. 또한 가장 높은 온도에서 오염 가능성을 최소화하면서 안정적이고, 시간 절약형 (time-saving) 생산성을 제공합니다. 저온, 하이엔드 프로세스 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.