판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A808SE #9350868

TEL/TOKYO ELECTRON A808SE는 경량 요소 확산 및 CZ 성장에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 구조는 사용자에게 최적의 온도 조절 및 균일성을 제공하도록 설계된 다중 레벨 구조입니다. 이 시스템은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), IC (IC), LED (photovoltaic device) 와 같은 장치의 생산에 필요한 정확한 온도 조절 및 균일성을 위해 최적의 평평한 난방 설계를 갖추고 있습니다. 또한 고정밀 풀 클로즈 루프 제어 장치 (full-closed loop controlled unit) 와 질소 순환기를 내장하여 성능을 최적화합니다. 또한, 공구 지형에는 하중 (loadlock) 이 포함되어 있어 반도체 장치의 온도 및 균일 성을 균일하게 분배합니다. TEL A808SE는 온도 균일성을 위해 2 단계 난방 에셋을 사용하며, 온도는 상하주기가 빠릅니다. 이 장치는 최대 1250 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 정확한 온도 제어를 위해 고급 피로미터 및 PLC 컨트롤러와 열전대 센서가 장착되어 있습니다. 빠른 반응 요소와 빠른 피드백 응답으로 인해 ± 1 ° C의 높은 정확도를 갖습니다. 또한, 모델의 고성능은 높은 신뢰성 이중 제어 장비로 지원됩니다. 워크스테이션에는 사용자 친화적 인 터치 스크린 디스플레이 패널과 함께 진공 방지 (vacuum-proof), 운영 편의성, 유지 관리 및 청소를 위한 세라믹 인테리어도 포함되어 있습니다. 안전 통제는 의도하지 않은 실험이 발생하지 않도록 TOKYO ELECTRON A808SE에 내장되어 있습니다. 이 시스템에는 수동 (manual) 및 자동 온도 조절 모드 (automatic temperature control mode) 와 과도한 발열 반응과 같은 문제의 경우 과열 (over-sampling) 또는 과열 (overheating) 을 방지하기 위한 자동 덮개 제어 장치가 모두 포함됩니다. 또한, 이 기계는 부드러운 실험 운영 및 상세 분석을 위해 다양한 첨단 기능을 제공합니다. 다양한 기능과 고온으로 A808SE는 가벼운 요소 확산 및 CZ 성장에 이상적인 도구입니다. 최대 1250 ° C의 온도와 반도체 생산에 이상적인 고정밀 실험을 위해 빠른 응답, 정확한 제어를 제공합니다.