판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9358719

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9358719
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Vertical diffusion furnace, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 다양한 산업 및 제조 공정에 사용하도록 설계된 진공로 및 액세서리 패키지입니다. 단일 챔버 진공로로서의 TEL A303i는 100 - 2,000 ° C의 작동 온도 범위, 전방: 40kg 및 후방: 60kg 및 초고속 냉각. 컨트롤러는 12 인치 컬러 LCD 터치 패널이 장착된 PLC로, 최대 64 개의 프로그램에 대한 수동 또는 PC 작동이 가능합니다. 임베디드 팬 디퓨저 (Embedded Fan Diffuser) 와 대용량 진공실은 내부 환경의 훨씬 균일 한 온도를 제공합니다. TOKYO ELECTRON A 303 I의 적용에는 세라믹 기판에 Si 및 Al 이온을 이식하는 것, 섬유의 탄화, 부품의 온화, 탄수화물 및 확산 코팅이 포함됩니다. N2, Ar, O2 등과 같은 여러 가스를 독립적으로 공급 할 수있는 4 개의 가스 입구 시스템이 특징입니다. 일부 공유 구성 요소를 도입하면 CVD (Chemical Vapor Deposition) 도 가능합니다. 챔버의 가스 분포는 오프 축 가스 입구 디자인으로 균일합니다. 경량 재료를 사용하여 하중을 쉽게 교환 할 수있는 넓은 개방형 도어 설계입니다. 배기 포트 각도는 적절한 배기 작업을 위해 모터 리프트 시스템으로 조정할 수 있습니다. A 303 I 내부의 음향 절연 구조는 용광로 챔버의 안팎으로 소음을 줄입니다. 또한 운영 중 경고를 발음/방출하는 PC 자동 모니터링 터미널이 있습니다. A303i는 넓은 온도 범위, PLC 컨트롤러, 다중 가스 주입 시스템, 균일 한 가스 분포, 경량 도어 구성, 배기 포트 조정 시스템 및 음향 절연 구조로 인해 다양한 제조 및 산업 공정에서 필수적인 도구입니다. 또한 안정성이 높은 운영 내역, 저비용 (LC) 유지 보수, 안전 규정 준수를 통해 안전하고 효율적인 운영을 제공합니다.
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