판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9358606

TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 다양한 열 처리 응용 분야에 사용되는 고급 확산로 및 액세서리입니다. 용광로 바닥에서 900 ° C까지의 균일 한 온도 범위 (900 ° C) 로 높은 정밀도 온도 조절을 제공합니다. 또한 향상된 분석 기능, 향상된 신뢰성, 열 균일성, 신속한 응답 시간을 제공합니다. TEL A303i는 최대 900 ° C의 열 산화, 고급 열 확산을 수행 할 수 있으며, 어닐링 및 에피 택시 성장에 사용될 수 있습니다. 이 퍼니스는 고품질의 강제 공기 냉각 기술을 사용하여 전체 챔버 (chamber) 전체에 걸쳐 최적화 된 온도 분포를 균일 한 열 소산을 보장합니다. 공기 온도 는 "챔버 '를 가로질러 단계적 으로 혹은 연속적 으로 여러 가지 값 으로 설정 할 수 있다. 이렇게 하면 필요한 프로세스에 대해 정밀하고 균일한 온도 조건이 생성되고, 프로세스 품질이 향상됩니다. TOKYO ELECTRON A 303 I에는 발전기와 2 개의 머플러가 장착되어 있습니다. 발전기는 실시간으로 자세한 프로세스 정보를 공개하여 산화 (oxidation) 과정을 안정적으로 제어할 수 있습니다. 또한, 발전기에는 두 가지 유형의 온보드 센서 (On-board sensor) 와 모니터 (Monitor) 가 있으며, 이 모니터는 공기의 흐름 속도와 가열 요소의 온도를 측정합니다. 이는 정확한 온도 조절을 보장하고 용광로의 정확도를 크게 향상시킵니다. TOKYO ELECTRON A303i에는 자동 웨이퍼 전송 장비 (옵션) 가 함께 제공되며, 이를 통해 최대 24 개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있습니다. 이 시스템은 시간 제어 작업 중에 각 웨이퍼의 궤적 (trajectory) 과 회전 (rotation) 을 제어하여 최적의 균일 한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이를 통해 재현이 가능한 결과를 보장하고 프로세스를 더욱 최적화할 수 있습니다. 또한 A 303 I 는 암호로 보호되는 Power On 장치를 통합하여 높은 데이터 보안을 제공하며, 이를 통해 인증되지 않은 인력이 시스템 사용을 차단할 수 있습니다. 이 용광로 는 또한 "에너지 '소비량 이 낮아지면 중단 없이 작동 할 수 있으며, 총 가동 비용 을 최소화 하도록 설계 되었다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I은 높은 정밀도 온도 조절, 향상된 분석 기능, 신뢰할 수있는 작동, 열 균일성 및 빠른 응답 시간을 제공하는 고급 확산 로와 액세서리입니다. 광범위한 열 처리 (thermal processing) 애플리케이션에 적합하며 에너지 소비량 측면에서 비용 절감 효과를 제공합니다.