판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351450
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TEL/TOKYO ELECTRON A303i (TEL/TOKYO ELECTRON A303i) 는 다양한 응용 분야에 사용할 수있는 TEL의 혁신적인 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 이 패키지에는 온도 및 성장 조건에 대한 정확한 제어를 위한 TEL A303i 컨트롤러 (TEL A303i 컨트롤러) 가 내장된 첨단 확산 로와 작동에 필요한 다양한 액세서리 (액세서리) 가 들어 있습니다. TOKYO ELECTRON A 303 I의 최대 처리 온도는 1050 ° C이며, 이는 반도체 장치, 유전체 필름과 같은 가장 기술적 인 고급 재료에 이상적입니다. A303i 확산 로에는 비용 절감, 고온 조절, 정확한 반복 성과 같은 몇 가지 이점이 있습니다. TOKYO ELECTRON A303i 확산 로와 관련된 비용 절감 효과는 현저히 효율적인 난방 요소 (최대 30kW 전력 또는 전기 및 흐르는 공정 가스의 조합) 에 기인 할 수 있습니다. A 303 I 확산 로의 전력 분배는 완전히 커스터마이징이 가능하며, 다양한 크기의 웨이퍼에 맞게 조정할 수 있습니다. 사용자는 TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I (TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I) 를 사용하여 크기나 모양에 관계없이 웨이퍼를 균일하게 가열할 수 있습니다. 또한, TEL A 303 I 확산 로는 매우 정확한 온도 조절을 제공합니다. 즉, 모든 사용자는 샘플을 손상시키는 것에 대해 걱정하지 않고 원하는 결정 성장을 달성 할 수 있습니다. 반복 가능성 측면에서 TEL/TOKYO ELECTRON A303i (TEL/TOKYO ELECTRON A303i) 는 ± 0.2 ° C 미만의 반복 가능성 정확도를 특징으로하므로 실험의 반복 가능성이 정확하게 유지되므로 재생성 결과를 달성하는 데 필수적입니다. 또한, 특허받은 가스 인 라이닝 (gas-in-lining) 시스템은 고른 가스 흐름을 제공하여, 확산 과정에서 치명적인 사고가 발생하지 않도록 함으로써 운영 중 안전 위험을 크게 줄입니다. TEL A303i 패키지에는 작업에 필요한 여러 액세서리도 포함되어 있습니다. 이러한 액세서리에는 빠른 웨이퍼 대피를위한 10 l/min 회전 속도의 진공 펌프, 대용량 가스 믹싱 밸브, 가스 배기 용 고류 밸브가있는 전용 포트 2 개, 정확도가 높은 가스 유동률을위한 옵션 가스 인라인 밸브 (옵션) 가 포함됩니다. 또한, 각 시스템에는 읽기 쉬운 매뉴얼이 제공되며, 일부는 사용자가 TOKYO ELECTRON A 303 I. A303i 확산 용광로 및 액세서리 패키지에 익숙해질 수있는 교육 도구가 포함되어 있습니다. 정확한 결정 성장 및 기타 확산 프로세스. 효율적인 난방 요소, 정확한 온도 조절, 반복 가능성 및 광범위한 안전 구성 요소를 활용하여 TOKYO ELECTRON A303i (TOKYO ELECTRON A303i) 는 광범위한 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.
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