판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351448
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텔/도쿄 전자 A303i (TEL/TOKYO ELECTRON A303i) 확산 로는 재료 및 부품을 기판 및 기타 물체에 확산 할 수 있도록 설계된 고급 장비입니다. 이 고급 장비는 대규모 프로젝트를 관리하기 위한 다양한 프로그래밍 가능하고, 사용자 지정 가능한 옵션을 갖추고 있습니다. 또한 추가 기능을 지원하는 여러 액세서리가 있습니다. TEL A303i는 측면 벽 및 상벽 용광로 요소를 갖춘 3 챔버 수직 설계입니다. 이 조합을 통해 프로세스에서 최대 6 개의 기판 홀더를 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 실리콘 (silicon), 알루미늄 (aluminum), 금속 (metal) 과 같은 다양한 물질을 확산 할 수 있기 때문에 대규모 부품과 재료를 생산하는 데 이상적입니다. 이 장치의 전원 공급 장치는 6 개의 와인딩이있는 와인딩 섹션과 디지털-아날로그 (D/A) 변환이있는 변압기 섹션을 갖추고 있습니다. 이를 통해 전력 출력 및 온도 조절을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 단일 패스, 다중 패스, 다중 재순환 및 이중 패스와 같은 여러 확산 작업을 제공합니다. 공구의 자동 기능 (automated function) 을 사용하면 확산의 속도와 온도를 정확하게 제어할 수 있고, 열 공정을 정확하게 제어할 수도 있습니다. 에셋은 온도가 상승할 때마다 스텝 카운트 (step count) 를 조정하여 설정할 수있는 정확한 제어 범위를 제공합니다. 또한, 추가 조정기를 사용하면 열 주기에 대한 최대 시간 제한 (time limit) 을 설정할 수 있습니다. 확산 과정이 완료되면 TOKYO ELECTRON A 303 I 의 다중 냉각 옵션을 통해 기판 및 재료를 빠르고 효율적으로 냉각할 수 있습니다. 여기에는 팬에 의한 활성 냉각 및 외부 재순환 회로가 포함됩니다. 선택적 "카세트 핸들러 '조립 도 가능 하다. TOKYO ELECTRON A303i 확산 로와 액세서리는 대규모 부품과 재료를 빠르고 정확하게 확산시킵니다. 여러 가지 "프로그래밍 '가능 한" 옵션' 과 자동화 된 기능 은 확산 과정 을 위한 효율적 이고 다양 한 도구 가 되며, 견고 한 설계 는 매번 믿을 만한 결과 를 보장 해 준다.
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