판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315049

TEL/TOKYO ELECTRON A303i (TEL/TOKYO ELECTRON A303i) 는 다양한 액세서리를 갖춘 고온 확산 로로, 우수한 전기 특성을 가진 구조를 생산할 수 있습니다. TEL A303i는 고성능 장치 제작에 이상적입니다. 고급 디자인은 우수한 온도 균일성을 허용합니다. TOKYO ELECTRON A 303 나는 최대 1800 ° C의 온도를 자랑하며 독립적 인 도가니 극 구성과 액션 유형의 대기 시스템을 갖추고 있습니다. 이 확산 로에는 냉각 시간을 줄이기 위해 가스 공급 패널이 포함되어 있습니다. 최대 235mm (9.25 ") 의 적재 용량을 가진 2 개의 PENN-STYLE ™ 용광로가 있습니다. 정확한 온도 조절은 반복 가능하고 최적의 결과를 보장합니다. 303 I는 사용자의 효율성과 생산성을 향상시키기 위해 다양한 액세서리를 갖추고 있습니다. 전구체 공급 시스템은 유기 가루 (organic powder) 또는 무기 가루 (organic powder) 를 전구체로 공급하는 데 사용될 수 있습니다. 고속 RTox (thermal oxidizer) 모듈을 부착하여 고면적 처리량 및 고품질 산화물 필름 생산이 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I에는 신뢰할 수있는 반복 가능한 장치 처리를 보장하는 프로그래밍 가능한 전자 컨트롤러 (PEC) 도 포함되어 있습니다. 사용하기 쉬운 터치 스크린과 통합 니크롬 스트립 컨트롤 (nichrome strip control) 을 사용하여 균일 한 온도 분배를 달성합니다. 또한 PEC에는 피드백 (feedback) 제어가 포함되어 있으며 최대 30 개의 프로그램을 레시피로 저장할 수 있습니다. 또한 A303i에는 최대 가동 시간을 보장하는 고급 진단 기능이 포함되어 있습니다. 온보드 질량 흐름 컨트롤러 (MFC) 는 정확하고 안정적인 가스 흐름과 냉각 시간을 최소화하는 열 커플 워밍업 (Warm-Up) 기능을 제공합니다. 용광로에는 비상 차단 밸브와 통합 안전 인터 록 (safety interlock) 시스템이 장착되어 있습니다. TEL A 303 I 는 정밀 온도 조절 및 고급 기능을 제공하여 생산성 향상, 최대 수율에 빠르게 도달할 수 있도록 지원합니다. 광범위한 액세서리를 통해 TOKYO ELECTRON A303i (TOKYO ELECTRON A303i) 는 다양한 어플리케이션을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다.