판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9311191

TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 반도체 생산을 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 원통형 인 챔버 (chamber) 가 있고 단단한 프레임에 장착 된 수직 (vertical type) 확산 퍼니스입니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 특수한 등급의 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 확산 과정에서 사용되는 고온과 압력을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. TEL A303i는 저압, 고압, 빠른 열 처리 등 다양한 확산 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 용광로는 손쉽게 작동할 수 있도록 터치패드 디스플레이 (touch pad display) 가 있는 패널을 사용하여 제어하며, 비상 정지 시스템 (Emergency Stop System) 과 자동 가스 차단 시스템 (Automatic Gas Shutdown System) 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON A 303 나는 2 ~ 6 인치의 웨이퍼 크기 범위로 다양한 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 용광로는 최대 1,100 ° C의 온도를 지원하도록 설계되었으며 배치당 최대 50 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 한 번 에 여러 개 의 "웨이퍼 '를 가열 하여 냉각 할 수 있으며, 따라서 한 번 의" 와우퍼' 를 처리 할 수 있다. 또한 303 "I '에는 온보드'" 가스 '공급 장치 와 조절기 가 있어 용광로 의 "가스' 압력 을 쉽게 조절 할 수 있다. 용광로에는 또한 쿼츠 라이너, 웨이퍼 홀더, 진공 펌프 (vacuum pump) 및 공정 확산에 필요한 기타 품목과 같은 많은 액세서리가 제공됩니다. 이러 한 "액세서리 '는 모두 용광로 의 수명 을 연장 시키고 효율성 을 높이기 위해 설계 되었다. 예방 유지 보수를 위해 TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I에는 다수의 자체 진단 기능 (self-diagnostic function) 과 모니터가 포함되어 있으며, 이 기능을 사용하여 용광로의 잠재적 문제를 감지할 수 있습니다. 이 자체 진단 테스트 결과는 용광로의 수리 또는 재보정 (recalibration) 의 필요성을 나타내는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로, TEL A 303 I은 반도체 생산 표준을 충족하도록 설계된 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 확산 로입니다. 첨단 안전 기능 (Advanced Safety Features) 으로 제작되었으며, 다양한 액세서리와 함께 제공되어 확산 과정이 쉽고 효율적입니다.