판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271255
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TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 반도체 제품 처리를 개선하기 위해 개발 된 확산 로와 해당 액세서리입니다. 이 확산 광로 (diffused furnace) 는 최대 온도가 1300 '이며 산화 및 확산과 같은 고속 열 과정을 위해 설계되었습니다. 용광로 에는 이상 온도 상태 를 감지 할 수 있는 "센서 '가 장착 되어 있어 내부 온도 를 정확 히 제어 할 수 있다. 또한 표준 웨이퍼 카세트 콘센트 (wafer cassette outlet) 와 편리한 웨이퍼 조작을 위해 카세트로드 및 언로드 장비를 갖추고 있습니다. 더욱이, 용광로 는 소량 의 "웨이퍼 '를 처리 할 수 있는 자동" 카세트' 부하 "시스템 '을 자랑 한다. 이 장치는 웨이퍼를 더 빨리 이동하고 가열 및 냉각에 소요되는 시간을 단축하여 웨이퍼를 웨이퍼 (wafer) 로 늘립니다. 용광로 인테리어는 석영 유리 (quartz glass) 로 만들어졌으며, 투명성 향상으로 인해보다 효율적인 충전 및 웨이퍼 방전이 가능합니다. 이 챔버에는 LED 조명기 (LED Lighting Machine) 가 장착되어 있어 용광로 내 여러 곳에서 항목을 검색하는 과정이 부드럽습니다. TEL A303i는 적응력이 높으며 다양한 유형의 열 처리 (어닐링, 산화 등) 에 적용 할 수 있으며, 대량 생산도 처리 할 수 있습니다. 이 용광로는 최고의 안정성과 안정성을 위해 설계되었으며, 전력 고장이 발생할 경우 공구를 다시 실행할 수 있는 자동 재시작 (Auto Restart) 메커니즘과 필요에 따라 비활성 가스를 도입하는 데 사용할 수 있는 GIS (Internal Gas Injection Asset) (옵션) 가 있습니다. TOKYO ELECTRON A 303 I은 모든 반도체 제품 프로세싱에서 중요한 부분으로, 일관되고, 안정적이며, 안전한 열 처리 솔루션을 제공합니다. 센서에서 자동 재시작 메커니즘에 이르기까지 다양한 기능을 갖춘 A 303 I 는 모든 프로세스 엔지니어에게 이상적인 선택입니다.
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