판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271021

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9271021
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 반도체 생산을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 특정 확산 용광로에는 완전 자동 대기 수준, 온도, 출력, 강도 제어기, 조정 가능한 증발 소스 (Evaporation Source) 와 같은 고급 기술이 장착되어 있어 매우 균일한 열 환경을 만듭니다. 또한, TEL A303i는 생산 과정에서 다른 기질의 동시 열 산화, 어닐링 및 확산을 허용합니다. TOKYO ELECTRON A 303 I은 쿼츠 튜브 퍼니스 챔버를 통해 최대 1100 ° C (2012 ° F) 의 온도에 도달 할 수있는 높은 온도 기능을 갖추고 있습니다. 이 용광로는 TEL 고유의 에너지 절약형 복사 난방 기술 (고효율) 을 사용하며 온실 가스 배출량을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한 온도 안정기 (Temperature Stabilizer) 장비가 장착되어 있어 오랜 생산 기간 동안 프로세스 안정성을 유지합니다. 또한, "와퍼 홀더 '배치" 센서' 를 갖추었는데, 이 "센서 '는 배기 장치 와 함께 작동 하여 약실 의 온도 가 균일 하게 유지 되게 한다. TEL A 303 I의 고급 기능으로 가스 흐름과 혼합물을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 용광로 에는 "가스 '흐름 과 혼합물 을 제어 하는 것 과 더불어 압력, 흐름, 온도 를 외부 로 측정 할 수 있는 여러 가지 인터페이스 포트 가 있다. 또한 이러한 포트를 사용하면 운영 데이터를 기록하기 위한 다양한 다른 장치 (예: PC) 를 통합할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 나는 수많은 안전 및 인체 공학 테스트를 통과했으며, 이 장치는 장기 작업 중에도 사용자 친화적입니다. 또한, A 303 I 작동과 관련된 모든 프로세스는 매우 정밀한 자기 감지 장치에 의해 이중 검사 및 모니터링됩니다. 사용 목적에 따라, A303i 는 옵션으로 제공되는 부품 (Part) 배열을 통해 필요에 맞게 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. 전환이 가능한 구성 요소에는 쿼츠 선박, 흥분 기계 구성 요소, 배기 도구, 냉각 팬, 원격 모니터 및 컨트롤러 등이 있습니다. 이러한 기능을 통해 TOKYO ELECTRON A303i는 시장에서 가장 발전된 확산 로가 될 수 있습니다. 최적의 반 도체 생산에 필요한 가장 정확하고 균일 한 조건을 사용자에게 제공합니다.
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