판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271013

TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 반도체 연구 및 제작을 위해 특별히 설계된 강력한 확산 로입니다. 이 도구 는 도펀트 (dopant) 를 기판 물질 로 쉽게 확산 시켜, 복잡 한 반도체 장치 를 만들 수 있게 해 준다. TEL A303i에는 5 개의 수직 영역과 1 개의 공통 상부 영역이 있습니다. 5 개 구역 모두 온도와 대기 모두에서 독립적으로 제어됩니다. TOKYO ELECTRON A 303 I은 비활성 가스 환경뿐만 아니라 산화 및 환원 대기 모두에서 최대 1400 ° C의 온도를 제공합니다. 또한, 챔버는 고순도 수소 가스 및 염소 기반 대기에서 작동 할 수 있습니다. A303i에는 최신 PAM-2000 제어 시스템, 고급 센서 어레이 (array of sensor) 및 최적의 웨이퍼 처리 조건을 모니터링 및 유지하기위한 계측기가 장착되어 있습니다. 또한 사용자가 제어 할 수있는 덮개를 제공합니다. 이 유연한 덮개를 사용하면 개구부 (opening) 수를 조정하거나 유리 도어를 통해 웨이퍼 (wafer) 를 입력할 수 있습니다. 강력한 TOKYO ELECTRON A303i에는 조절 가능한 플래튼 간격, 대형 실리콘 카바이드 바닥 및 상단 플래튼, 세련된 카세트 캐리어, 자동 웨이퍼 전송 포트, 스테퍼 모터 드라이브 시스템 등이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I 확산 로는 정밀 반도체 장치 생산을 원하는 사용자에게 최대의 프로세스 제어 및 유연성을 제공합니다. 혁신적인 기능과 첨단 기술을 갖춘 A 303 I 는 다양한 반도체 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.