판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9270769
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ID: 9270769
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Vertical diffusion furnaces, 12"
Process: DIFF
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 산업 생산 공정에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 효율성을 극대화하지만 공간을 최소화하고, 저천장 생산 셀에도 완벽합니다. TEL A303i 확산로 (diffusion furnace) 는 완전 자동화된 장비로, 모든 설정 및 원하는 매개변수를 버튼 터치로 프로그래밍할 수 있습니다. 이 용광로에는 낮은 유지 관리 구성 요소에서 고온, 컴퓨터 제어 기술, 견고한 빌드 품질 (build quality) 에 이르기까지 고급 기능이 탑재되어 있습니다. TOKYO ELECTRON A 303에는 흐름 형 챔버 (flow-type chamber) 가 있으며, 이를 통해 사용자는 산화, 질화, 보리딩, 카버링 및 어닐링을 포함한 다양한 프로세스에 대한 다양한 가스의 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. "가스 '와" 플럭스' 의 양 을 "챔버 '에 들어가고 나가는" 가스' 와 "플럭스 '의 양 을 사용자 정의 할 수 있는 조정 가능 한 덮개 가 있다. 이 설계는 많은 확산 프로세스와 관련된 시간과 비용을 줄이는 데 도움이 됩니다 (영문). 또한 303 I에는 다양한 액세서리 (액세서리) 를 사용하여 더욱 사용자 정의하고 최적화할 수 있습니다. 여기에는 슬로핑 컨베이어 시스템 (sloping conveyor system), 가스 타이트 도어 (gas tight door) 및 가스 패널 장치 (gas panel unit) 가 포함됩니다. 경사 컨베이어 머신 (sloping conveyor machine) 을 사용하면 부품을 쉽게 적재하고 언로드할 수 있으며, 가스 타이트 도어는 유해한 매체와 입자를 유지하고, 동시에 빠른 액세스를 허용합니다. 기체 패널 도구를 사용하면 저산소 (low-oxygen) 에서 고감소 (high-reduction) 대기에 이르기까지 다양한 공정에 대해 용광로 대기를 수동으로 조정할 수 있습니다. 도쿄 전자 A303i (TOKYO ELECTRON A303i) 에는 사용자 및 제품의 안전을 보장하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 열과 스파크 (sparks) 에 대한 추가 보호를위한 스테인리스 스틸 슈라우드 (stainless steel shroud) 와 용광로의 온도를 항상 모니터링하는 열전대 센서 (thermocouple sensor) 가 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 과열 또는 오작동 시 모델을 종료하는 긴급 정지 (Emergency Stop) 자산이 있습니다. 전반적으로 TEL A 303 I는 작은 패키지의 고품질 확산 로입니다. 또한 사용자 친화적인 설계와 견고한 기능을 통해 다양한 프로세스에 활용하고, 효율성과 안전성을 유지할 수 있습니다 (영문).
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