판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9261571

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON A303i 확산 로는 실리콘 기판에 에피 택시 필름을 증착하도록 설계된 특수 반도체 제작 도구입니다. 그것 은 "칩 '제작자 들 이" 마이크로' 프로세서 및 기타 전자 부품 을 제조 하는 데 일반적 으로 사용 하고 있다. TEL A303i에는 고온 열 챔버가 있으며, 이는 내열 세라믹 히터 패널로 둘러싸여 있습니다. 열 "챔버 '내부 에서, 가열 된 도가니 를 사용 하여 증착 하는 물질 을 확산 시킨다. 기질 은 열실 의 핵 에 배치 되고, "세라믹 히터 '" 패널' 에 의해 고르게 가열 된다. 또한, 다중 영역 온도 제어 기능은 전체 기판 표면에서 온도 균일성과 안정성을 허용합니다. TOKYO ELECTRON A 303 I의 온도 범위는 300-1400 ° C이며 온도는 ± 1 ° C 내에서 제어 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I에는 MFC (Automatic Mass Flow Controller) 가 내장되어 있어 가열 된 도가기에 반응물 가스를 정확하게 전달 할 수 있습니다. MFC (MFC) 는 챔버에 전달되는 반응 가스의 양을 조절하여, 에피 택시 층 증착 공정에서 반복성과 정확성을 보장한다. 또한, 챔버 내부의 압력은 내장 진공 펌프로 정확하게 제어 할 수 있습니다. 균일하고 고품질 에피 택시 레이어 증착 과정을 위해 TOKYO ELECTRON A303i에는 고급 가스 샤워 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 조정 가능한 샤워 압력이있는 2 개의 독립적 인 가스 라인으로 구성됩니다. 이것은 기판 전체에 균일 한 층 두께와 균일 한 가스 분포를 보장합니다. 또한 A 303 I에는 과열 및 과압 경보와 같은 여러 안전 기능이 있습니다. 여기에는 기체 흐름, 온도 등 증착 과정에 대한 성능 데이터를 제공하는 실시간 모니터링 장치 (real-time monitoring unit) 도 포함되어 있습니다. 이 기능을 통해 프로세스 제어 및 규제를 강화할 수 있습니다. 요약하면, TEL A 303 I 확산 로는 실리콘 기판에서 고품질 에피 택시 레이어를 생산하는 데 적합한 특수 반도체 제작 도구입니다. 고급 가스 샤워 머신 (gas shower machine) 과 다중 영역 온도 제어 기능을 갖추고 있어 정확하고 반복 가능한 레이어 증착 프로세스를 제공합니다. 또한, 내장 안전 기능은 사용자에게 최대의 안전을 보장합니다.