판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9242096

TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 수직형, 궤도 질량 보조 수직 흐름, 단일 웨이퍼, 확산 용광로 및 까다로운 제품을위한 액세서리입니다. 이 장치는 독특한 형태의 수평 전기 히터 (electric heater) 구성을 특징으로하며 정확한 로컬 난방 및 냉각 특성을 제공합니다. 고온 확산으로 저온 어닐링을 제공하도록 설계되었습니다. TEL A303i는 까다로운 반도체 장치 제작용 어플리케이션을 위한 매력적인 성능 프로파일을 제공합니다. 장치의 신뢰할 수 있는 수직 흐름 어닐링 (vertical-flow annealing) 기능은 장치 제작에 필요한 정밀 패턴 레이어에 매우 적합합니다. 이 장치는 온도 조절을 위해 광범위한 프로세스 창도 제공합니다. 열적 균일성 제어 (thermal uniformity control) 정확도는 가열 및 냉각 과정 전체에서 정확하게 모니터링 및 조정될 수 있습니다. TOKYO ELECTRON A 303 I에는 크고 스펙트럼 등급이 높은 이중 쉘 석영 튜브, 자기 부양 모터 및 질화물 벽 흑연 라이너 (nitride walled graphite liner) 와 같은 구성 요소가 포함되어 있습니다. 안전한 액세스를 보장하는 로우 프로파일 디자인이 있습니다. 도쿄 전자 A303i (TOKYO ELECTRON A303i) 의 독특한 특징은 같은 장치에서 확산 및 어닐링 기능을 모두 제공한다는 점이다. 이 장치에는 온도 및 프로세스 제어를 위한 모니터, 컨트롤러, 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 모니터가 데이터를 호출하고 LCD 화면에서 각 프로세스의 성능을 그래프로 표시할 수 있습니다. 컨트롤러는 기본 AC 생성기 및 열로의 입력 매개변수 및 작동 조건에 광학적으로 액세스합니다. 또한 컨트롤러는 열 어닐링 프로세스 (thermal annealing process) 를 모니터링하고 적절하게 최적화된 결과를 위한 매개변수를 제공하는 데 사용됩니다. TEL A 303 I에는 운영을 최적화하는 데 도움이되는 첨단 기술, 운영 및 안전 지침이 포함되어 있습니다. 이 장치는 일관된 제품을 확보하기 위해 원하는 온도에서 균일 한 난방 (heating) 및 냉각 (cooling) 성능을 제공하는 확실한 가장자리를 가지고 있습니다. 또한 사용자는 사용자 매뉴얼 내의 팁 및 트릭, 체크리스트에 액세스할 수 있습니다. 이 장치는 엄격한 안전 지침 (Safety Guideline) 을 준수하도록 인증되었으며, 가장 안정적이고 효율적인 확산 용광로 중 하나로 높이 평가됩니다.