판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9241298
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TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 반도체의 열 처리에 사용되는 고품질 확산 로입니다. 이 도구는 어닐링 (annealing), 드라이브 인 (drive in) 및 기타 확산, 리플로우 및 고밀도 포장에 사용될 수있는 다용도 도구입니다. TEL A303i의 주요 기능은 고급 챔버 설계, 균일 한 온도 분포 및 높은 처리량입니다. 챔버 (chamber) 디자인은 다른 유사한 모델과 공통된 침식 및 균열에 강하다. 이로 인해 용광로는 믿을 수 없을 정도로 안정적이며, 반복 가능한 고품질 결과에 도움이 됩니다. 균일한 온도 분포로 인해 최소 열 구배로 웨이퍼를 빠르게 처리 할 수 있습니다. 처리량이 높을수록 운영 속도와 효율성도 향상됩니다. 용광로는 몰리브덴 (Molybdenum) 가열 요소와 함께 제공되며, 이는 조절 가능하며 짧은 시간 안에 가열됩니다. 난방 요소는 내화성으로 인해 부식으로부터 보호됩니다. 또한 아르곤 (Argon) 퍼징 장비를 장착하고 화학 증기 증착 공정을 사용합니다. 이 화학적 증기 증착 과정 을 "아르곤 '과 함께 사용 함 으로써" 챔버' 는 열 산화 로 인한 오염 을 경험 하지 못하게 되어, 우월 한 결과 에 도움 이 되는 환경 이 된다. TOKYO ELECTRON A 303 I에는 안전 도어, 경보 시스템, ZnO 온도 표시기 및 진공 장치와 같은 여러 안전 기능도 포함되어 있습니다. 안전 도어 (Safety Door) 는 온도가 너무 높으면 연산자가 챔버를 여는 것을 방지하는 반면, 경보기 (Alarm Machine) 는 작동 담당자에게 비정상적인 조건을 알립니다. ZnO 온도 표시기 (ZnO temperator indicator) 는 챔버 내부의 온도가 특정 한계를 초과하면 사용자에게 알리고, 진공 도구는 가능한 오염 물질이 에셋에 들어가는 것을 방지합니다. A303i는 안전 외에도 훌륭한 사용자 환경을 제공합니다. 사용자는 직관적인 인터페이스를 통해 열 처리 (thermal processing) 에 필요한 데이터를 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 사용자가 온도 제어 (temperature control), 레시피 프로그래밍 (recipe programming) 과 같은 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I은 반도체의 열 처리를위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 고급 챔버 설계, 균일 한 온도 분배, 높은 처리량, 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있는 제품을 찾는 기업에게 적합한 선택입니다. 뛰어난 품질의 결과를 보장하는 데 필요한 기능과 안전 측정 (Safety Measure) 을 제공하는 반면, 직관적인 인터페이스 (Interface) 는 부드럽고 단순화된 경험을 제공합니다.
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