판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9241289

텔/도쿄 전자 A303i 확산 퍼니스 (TEL/TOKYO ELECTRON A303i Diffusion Furnace) 는 얇은 재료 층 인 기판 또는 다른 재료의 표면에 퇴적시키는 데 사용되는 강력한 실험실 장비입니다. "다이아몬드 '필름 을 포함 하여 여러 가지 재료 를 사용 하는 다른 장치 의 생산 과 같은 정밀 한 온도 조절 이 필요 한" 프로그램' 에 적합 하다. TEL A303i (TEL A303i) 는 티타늄 인클로저에 장착 된 단일 공정 튜브가있는 수평로입니다. 수냉주기 냉각이며, 석영 밀봉 저항 가열 요소를 포함합니다. 최대 작동 온도는 1300 ° C이며 온도 균일성은 ± 5 ° C입니다. 외부 패널은 304 및 321 스테인리스 스틸로 제작되었습니다. 챔버는 또한 내부 석영 튜브 및 유리 울 단열재가있는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 이 용광로 에는 배기 "포트 '가 장착 되어 있는데, 이" 포트' 는 공정 실행 중 에 발생 한 가열 된 공기 를 대피 시키도록 설계 되었다. TOKYO ELECTRON A 303 자동화된 가스 박스, 진공 분리, 환기 장치, 전원 공급 장치, 안전 밸브, 지원 메커니즘, 수냉식 입구, 배기 포트 및 컨트롤러를 포함한 여러 액세서리가 제공됩니다. 가스 박스 (gas box) 는 프로세스 실행에 사용되는 가스 양을 혼합하고 제어하도록 설계되었습니다. 진공 분리 시스템 (vacuum separation system) 은 배기 공기를 용광로 챔버와 분리하는 데 사용됩니다. 그것 은 "퍼니스 '에서 방출 되는 공기 에서 오염 물질 을 효율적 으로 제거 할 수 있게 해 준다. 인공호흡기는 용광로의 온도를 조절하는 데 사용됩니다. 안전 밸브 (Safety Valve) 는 시스템 내에서 과압 (Over Pressurization) 을 방지하고 원하는 수준 이상으로 온도가 상승하면 안전 예방 조치 (Safety Precaution) 로 작동합니다. 전원 공급 장치 (power supply) 를 통해 온도를 정확하게 제어할 수 있으며, 지지장치 (support mechanism) 를 통해 프로세스 실행 중에 용광로가 안정적으로 유지됩니다. 수냉식 "인렛 '은 차가운 급수 에 연결 되어 있으며, 공정 전체 에 걸쳐 일관성 있는 온도 를 유지 하는 데 사용 된다. 배기 "포트 '는 진공계 에 연결 되어 있으며, 용광로" 챔버' 에서 가열 되거나 오염 된 공기 를 제거 하도록 설계 되어 있어서, 그 과정 중 에 원치 않는 물질 이 인클로저 에 들어가지 못하게 한다. 컨트롤러는 온도 및 전체 프로세스 실행을 모니터링하고 조정하는 데 사용됩니다. 결론적으로, TEL A 303 I 확산 로와 그에 수반되는 액세서리는 얇은 층의 재료를 배치하는 안정적이고 효율적인 방법을 제공합니다. 정밀 온도 조절 (precision temperate control) 과 완벽한 균일성을 제공하며 모든 안전 요구 사항을 준수합니다.