판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235204

TEL/TOKYO ELECTRON A303i (TEL/TOKYO ELECTRON A303i) 는 확산 로와 반도체 웨이퍼 및 기타 장치 제조에 대한 정확한 온도 요구 사항을 충족시키기 위해 만들어진 일련의 액세서리입니다. 이 확산 용광로는 최대 1350 ° C의 온도를 처리하기 위해 특별히 제작되어 고온 증착에 적합합니다. TEL A303i는 챔버 바디, 쿼츠 튜브 어셈블리, 전기 공급 장치, 전원 및 제어 시스템을 포함한 여러 부분으로 구성됩니다. TOKYO ELECTRON A 303 I의 챔버 바디 (chamber body of TOKYO ELECTRON A 303 I) 는 알루미늄 (aluminum) 으로 만들어졌으며, 특수 수지 코팅으로 인테리어에 적용되는 극한의 온도를 견딜 수 있습니다. 석영 튜브 어셈블리는 석영 튜브, 라이너, 석영 튜브 첨부, 물개 링 및 차단 밸브로 구성됩니다. 챔버 바디와 용광로 입구를 연결합니다. 전기 공급 장치 는 "프로그램 '할 수 있는 동력," 컨트롤 박스' 및 "파워 컨트롤 '장치 로 구성 되어 있으며, 이 장치 는 함께 정밀 한 온도 와 압력 요구 조건 을 유지 하기 위한 조절 을 제공 한다. A303i의 내부 구조에는 세라믹 (ceramic) 및 절연 (insulation) 보드의 절연층이 있어 높은 온도를 효율적으로 견딜 수 있습니다. 단열판 은 또한 먼지 와 부스러기 를 함유 하지 않도록 보호 해 주며, "챔버 '를 깨끗 하게 하고 안전 하게 사용 한다. 챔버 내부의 다른 온도 조절 기능으로는 석영 튜브 (quartz tube assembly), 히터 (heater) 및 가스 제트를 사용하여 석영 튜브를 식히는 냉각 시스템이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I에는 자동 로드 및 언로드 시스템, 확산 가스 감지 시스템 및 정확한 대기 및 압력 조절을위한 정확한 밸브 제어 (옵션) 가 있습니다. 또한, TEL A 303 I에는 전체 프로세스를 정확하게 추적 할 수있는 고급 모니터링 및 기록 시스템이 제공됩니다. TOKYO ELECTRON A303i (TOKYO ELECTRON A303i) 는 프로세스에 대한 정확한 온도 및 온도 균일성이 필요한 산업에 적합한 선택입니다. 고급형 안전 (Safety) 기능과 공정 제어 시스템 (Process Control System) 을 결합한 신뢰성 있는 온도 규제를 통해 많은 애플리케이션에 안정적이고 경제적인 선택이 가능합니다.