판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235193

TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 집적 회로 제조에 사용되는 고급 확산 용광로 장비입니다. 이 시스템은 두 가지 구성 요소 (확산 용광로 챔버 및 관련 처리 장비) 로 구성됩니다. 확산 용광로 챔버 (diffusion furnace chamber) 는 공기와 진공이 단단하도록 설계되었으며 섭씨 1550 도까지 온도가 가능합니다. 이 장치 에는 가공 하는 데 필요 한 대기 를 유지 하기 위하여 특수 한 대기 "컨트롤 '장치 가 장착 되어 있다. 챔버는 스테인리스 스틸, 티타늄 또는 나이오비움으로 만든 2 개의 껍질로 만들어집니다. 챔버 내부는 세라믹 코팅으로 도금됩니다. 이 코팅에는 탄화 티타늄 나노 필름 (titanium carbide nanofilms) 이 포함되어 있으며 처리 중 산화를 방지하도록 설계되었습니다. 방에는 석영 창문 (Quartz Window) 이 장착되어 있어 처리 진행 상황을 모니터링하는 데 사용되는 빛을 전달할 수 있습니다. 확산 용광로 도구 (diffusion furnace tool) 에는 추가 처리를 허용하는 여러 액세서리도 포함되어 있습니다. 이러한 액세서리에는 확장 암, 셔터, 프로브 어셈블리, 에지 밀봉 플레이트, 스크레이프 다운 수지 및 난방 요소가 포함됩니다. 프로브 어셈블리를 사용하면 내부 챔버 (Chamber) 에 수지를 정확하게 조작하고 적용 할 수 있습니다. 불활성 "가스 '공급선 은 부가적 인 안전 측정 으로" 챔버' 에 연결 된다. 모서리 밀봉판은 챔버 오프닝 (chamber opening) 에 부착되어 있으며 외부 소스에서 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 스크랩 다운 수지는 챔버 벽 (chamber wall) 의 재료 접착으로 인한 오염을 줄이기 위해 사용됩니다. 가열 요소는 챔버를 균등하게 가열하고 가공하기 위해 일관된 환경을 유지하는 데 사용됩니다. TEL A303i는 매우 안정적이며 확산 용광로 자산을 사용하기 쉽습니다. 고급 집적 회로 및 기타 특수 마이크로 일렉트로닉 부품 제작을 위해 설계되었습니다. 긴 수명 및 낮은 유지 보수 (maintenance) 요구 사항을 충족하도록 설계된 견고한 모델입니다.