판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235188

TEL/TOKYO ELECTRON A303i (TEL/TOKYO ELECTRON A303i) 는 웨이퍼 생산 공정의 정확한 결과를 얻기 위해 특별히 설계된 고급 확산 로입니다. 반도체 생산공간의 제조업체를 위한 완벽한 도구다. 반도체 생산공간의 정확성과 빠른 처리 시간 (turnaround time) 이 가장 중요하다. TEL A303i (TEL A303i) 는 출력의 균일성을 극대화하는 높은 처리량 가스 흐름 장비를 제공합니다. 이것 은 현대적 인 압력 조절 과 "핫 메탈 파이프 '를 결합 하여 균일 한" 플로우 필드' 를 만드는 특수 한 "쿼츠 튜브 '를 사용 함 으로써 달성 된다. 이 로 말미암아 "가스 '를 빠르고 정확 하게 교환 할 수 있게 되어 최고 의 질 의" 가스' 의 일관성 있는 결과 를 얻게 된다. 이 기계는 또한 고급 제어 장치 (advanced control unit) 를 갖추고 있으며, 운영자는 소스/드레인 전류, 온도, 압력 등과 같은 매개변수를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 는 사용이 쉽고 편리하며, 손쉽게 액세스할 수 있도록 직관적인 터치스크린 디스플레이를 제공합니다. 도쿄 전자 A 303 나는 위생과 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 질소 라인과 오픈 도어 (open-door) 내장 안전 사이클 (safe cycle) 을 통해 오염을 줄이고 인력을 피해로부터 보호합니다. 또한 진동, 소음, 보다 편안한 작업 환경을 위해 설계되었습니다. 특정 응용 프로그램에 대해 A 303 I를 추가로 사용자 정의하기 위해 다양한 액세서리를 사용할 수 있습니다. Wavefront 기술 (옵션) 을 사용하여 웨이퍼 표면 함수를 초기화하고 제어할 수 있으므로 왜곡을 줄여 정확성과 균일성을 높일 수 있습니다. 또한 애프터 마켓 구성 요소로 추가 가스 소스를 추가 할 수 있습니다. TEL A 303 I은 정확한 웨이퍼 생산에 이상적인 솔루션으로 설계된 고급 확산 로입니다. 높은 처리량 가스 흐름 머신 및 고급 제어 도구는 정확한 결과를 보장합니다. 또한, 공정 중에 안전과 위생을 보장하는 기능도 포함되어 있습니다. 고객은 다양한 액세서리 (accessory) 와 결합하여 솔루션을 더욱 맞춤형으로 구성할 수 있어 언제나 완벽한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문).