판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293807098

TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 반도체 장치 제조에 사용되는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 특히 신뢰할 수 있고 반복 가능한 방식으로 깨끗하고 균일 한 확산 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. TEL A303i는 최대 1150 'C 온도의 웨이퍼를 가열 할 수 있으며 최대 8 인치 직경의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON A 303 I은 통합 monocrystalline graphite heat zone 및 공융 액체 합금 기술을 사용하여 열 영역 내에서 우수한 균질 온도 분포를 제공합니다. 독특한 "초 속도" 디스크 회전 장비는 챔버 내에서 균일 한 온도를 보장하고 흑연 침식을 줄입니다. 또한 정확한 가스 흐름 제어에 사용될 수있는 통합 "펄스 (pulse)" 가스 전달 시스템이 있습니다. 이 장치에는 프로세스 정확성 및 재생성 향상을 위해 온보드 진공기가 있습니다. 확산 로에는 고급 컴퓨터 인터페이스 (advanced computer interface) 가 장착되어 있어 프로세스 변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 컴퓨터 인터페이스에는 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능이 포함되어 있으므로 각 처리 단계의 진행 상황을 쉽게 추적할 수 있습니다. 이 도구는 또한 고급 센서 및 서모커플을 사용하여 실시간 피드백을 제공합니다. 안전성 향상을 위해 TEL A 303 I에는 비상 정지 단추, 과열 보호 자산 및 비상 점검 밸브도 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 비상시 모델이 자동으로 종료됩니다. (PHP 3, PHP 4) 이러한 기능 외에도 A 303 I에는 여러 가지 유용한 액세서리가 장착되어 있습니다. 여기에는 추가 흑연 열 구역, 적재 스테이션 및 quench 스테이션이 포함됩니다. 이 액세서리는 실리콘 온 인슐레이터 (MOI) 웨이퍼 처리 및 웨이퍼 테스트 및 분석을 위해 향상된 옵션 (옵션) 을 제공합니다. 도쿄 전자 A303i (TOKYO ELECTRON A303i) 가 제공하는 고급 기능과 액세서리의 조합은 IC 패키지 제품에 대한 광학 센서 (optical sensor) 와 단일 셀 트랜지스터 (single-cell transistor) 의 자동 통합과 같은 다양한 반도체 제작 프로세스에 이상적인 선택입니다. Photodiodes, CCD 및 기타 IC의 안정적이고 반복 가능한 생산에 필수적인 도구입니다.