판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293801902

TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 첨단 전자 장치 제조와 같은 고정밀 응용 프로그램을위한 최첨단 확산 로와 액세서리입니다. TEL (TOKYO ELECTRON) 의 일련의 생산 등급 장비는 실험실 및 생산 라인과 연구 개발 (R&D) 노력에 이상적입니다. TEL A303i 확산 로는 최대 1,250 ° C의 온도에서 깨끗한 작동과 균일 성을 제공합니다. 균일 한 열 분배를위한 석영 벨 타입 히터 (quartz bell-type heater), 균일성 향상을위한 밀봉 형 공정 챔버, 조절 가능한 내부 챔버 압력이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON A 303 I는 또한 오염으로부터 더 잘 보호 할 수있는 확장 된 범위의 여과 시스템을 제공합니다. 퍼니스에는 강력한 퍼지 장비, 자동 대기 샘플러 및 비전 렌즈 뷰어 (Vision Lens Viewer) 도 장착되어 있습니다. 대기 샘플러 (sampler) 는 반응 챔버에서 불순물을 감지하여 현재 조건에 따라 퍼지 사이클 (purge cycle) 을 조정할 수 있습니다. 또한 Vision Lens Viewer는 처리 중 기판의 작동 친화적 가시성을 제공합니다. 또한 A303i 확산 용광로는 사용자 생산성과 효율성을 최적화하도록 설계되었습니다. 로봇 로딩 잠금 시스템 (Robotized Load Lock System) 과 스마트 도구 통합 (Smart Tool Integration) 을 통합하여 빠르고 정확한 웨이퍼 처리 및 디가싱 및 디패싱과 같은 준비 단계를 수행할 수 있습니다. 또한 "자동 온도 모니터 (Automatic Temperature Monitor)" 는 열 불안정성을 신속하게 감지하고 열 소스를 조정하여 부드럽고 정확한 작동을 보장합니다. 또한 TOKYO ELECTRON A303i는 최적의 상황 제어를 위해 다양한 안전 조치를 제공합니다. 정교한 3 단계 안전 장치는 안전을 보장하기 위해 작업을 자동으로 모니터링하고 조정합니다. 비정상적인 작동의 경우 자동 차단 및 복구 기능, 자동 재설정 (auto-reset) 기능이 있는 압력 해제 밸브 (pressure relief valv) 가 있습니다. 또한 안정성 및 온도 정밀도를 향상시키기 위해 방화제, 온도 내성 절연 재료를 갖추고 있습니다. 전반적으로, A 303 I은 탁월한 성능을 제공하기 위해 포괄적인 기능을 갖춘 고급 확산 로입니다. 고급 퍼지 머신 (purge machine), 광범위한 여과 시스템 (filtration system), 통합 안전 시스템 (integrated safety system) 을 통해 사용자는 자신감과 마음의 평화를 높일 수 있습니다. 또한, 로봇 로딩 잠금 장치, 자동 온도 모니터, 비전 렌즈 뷰어는 강력하고 효율적인 사용자 환경을 제공합니다.