판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293630205

TEL/TOKYO ELECTRON A303i는 산화, 어닐링, 확산 및 고해상도 금속화와 같은 저온 공정을 위해 설계된 확산 용광로 장비입니다. 이 "시스템 '은 동종 온도 분포, 열 투입 조정 을 위한 조절 장치, 연소 방출 을 제한 하는 난연성 장치 (flame retardancy unit) 를 제공 하도록 설계 된 용광로 챔버 를 사용 한다. 이 확산 로의 온도 범위는 최대 1250 ° C이며, 최대 하중은 4.5kg입니다. 작동 및 유지 보수가 용이한 고급 확산 로입니다. 안전을위한 보호 후드와 정기적 인 유지 보수를위한 자동 청소 모드가 포함됩니다. TEL A303i의 제어 기계는 온도, 시간, 대기 및 가열 요소 반응을 정확하게 제어 할 수있는 기능을 제공합니다. 또한, 정확한 측정 및 데이터 로깅을 가능하게 하는 프로세스 모니터링 기능도 제공합니다. 이 확산 용광로 (diffusion furnace) 도구는 다양한 가스 및 진공 모니터링 옵션을 제공하여 프로세스 제어를 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 기능 외에도 TOKYO ELECTRON A 303 I 확산 로에는 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 이 액세서리에는 최대 15 종의 웨이퍼 캐리어, 공압 재료 적재 자산, 자동 보호 후드, 완전한 안전 장비 세트가 포함됩니다. 또한 TEL A 303 I 확산 로는 고속 웨이퍼 전송 및 사전 프로그래밍 가능한 프로세스 사이클 (pre-programmable process cycle) 과 같은 기능을 통해 최적의 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 용광로 뚜껑은 3 단계 단열재로 설계되었으며, 최적의 온도 조절 (temperature control) 과 에너지 효율적인 설계를 제공합니다. 전반적으로, A303i는 정밀한 프로세스 제어, 안전 및 에너지 효율성을 위해 설계된 고성능 확산 로우 모델입니다. 최첨단 기술 (State-of-Art Technology) 은 정확성과 효율성을 갖춘 저온 프로세스를 수행하고자 하는 기업에 이상적인 선택입니다.