판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 615 #293645002

ID: 293645002
웨이퍼 크기: 6"
System, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON 615는 다양한 산업에서 사용되는 신뢰할 수있는 고품질 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 높은 진공로 챔버 (vacuum furnace chamber) 와 통합 주 제어 시스템 (main control system) 및 원격 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 이 챔버에는 최대 3 개의 개별 구성 가능한 인클로저가 포함될 수 있으며, 각 엔클로저에는 개별 가스, 온도, 환경이 있습니다. 주 제어 장치 (Main Control Unit) 는 연관된 모든 매개변수를 정확하게 모니터링하고 제어하도록 설계되어, 용광로가 최고 성능으로 작동하도록 합니다. 동봉된 챔버 (enclosed chamber) 는 확산 과정에서 사용되는 열 및 화학 반응물을 효율적으로 관리하도록 설계되었습니다. 우수한 부식 내성을 위해 고급 스테인리스 스틸로 제작되었습니다. 챔버 (chamber) 에는 동봉 된 챔버의 균일 한 가열이 가능한 세라믹 섬유 챔버 벽이 포함되어 있습니다. 또한, 용광로는 분리 된 진공 및 비활성 가스 시스템을 포함하며, 확산 과정에서 가스 반응물을 도입 할 때 최적의 유연성을 제공한다. TEL 615에는 프로세스 컨트롤러, 열전대, DC 릴레이, 전원 공급 장치 등 다양한 통합 액세서리도 있습니다. 프로세스 컨트롤러는 확산 과정에서 프로세스 매개변수를 모니터링, 제어, 조정하도록 설계되었습니다. 열전대 는 방 내 의 "온도 '를 정확 히 판독 해 주며, 최적 의 요리 환경 을 유지 하는 데 도움 이 된다. DC 릴레이 및 전원 공급 장치는 챔버의 에너지 효율적인 가열을 위해 사용됩니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON 615는 신뢰할 수 있고 유연한 확산 로와 액세서리로, 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다. 고진공 챔버 (High Vacuum Chamber) 및 통합 액세서리 (Integrated Accessory) 는 균일하고 정확한 확산 프로세스를 보장하여 프로세스에 사용되는 온도 및 가스와 관련된 에너지 비용을 줄입니다. 이 시스템은 또한 원격 모니터링 (remote monitoring) 을 제공하여 사용자가 항상 제어 상태를 유지할 수 있도록 합니다.
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